판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #293593182

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ID: 293593182
빈티지: 1994
Inspection system 1994 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan은 반도체 산업에서 사용하도록 설계된 혁신적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 최첨단 광학 산란법 (Optical Scatterometry) 및 분광법 (Spectroscopy) 기술을 사용하여 빠른 속도, 정확도 및 정밀도로 웨이퍼 표면 지형을 측정합니다. KLA 7600 Surfscan의 독점적 인 광학 센서 기술을 통해 전통적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템에 대한 정확한 테스트가 가능합니다. TENCOR 7600 Surfscan에는 Fourier 분석을 통해 표면의 광학 특성을 결정하는 두 가지 격자 구성이 있습니다. 이 접근 방식은 기존의 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템보다 더 정확한 표면 지형 데이터를 제공합니다. 이 장치에는 유사한 시스템보다 드리프트가 적은 고해상도 측정이 가능한 선형 인코더 (linear encoder) 가 있습니다. 또한 7600 Surfscan 은 수작업 및 자동화된 작업을 모두 지원하며, 조작하기 쉬운 가상 커서가 있는 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface) 를 통해 즉각적인 분석 및 고급 분석 기능을 제공합니다. PROMETRIX 7600 Surfscan은 GRR 테스트와 같은 작은 구조에서 최대 65mm 폭의 큰 둥근 및 직사각형 테스트 필드까지 다양한 샘플 크기를 측정 할 수 있습니다. 이 기계는 공압 구성 요소와 기계 구성 요소를 모두 활용하여 부드럽고 정확한 스캐닝을 달성하며, 테스트 용이성을 높이기 위해 카메라 (Camera), 조명 (Lighting), 대량 침입 구성 (Mass-Immersion Configuration) 과 같은 긴 액세서리를 제공합니다. 또한 KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan은 개선 된 표면적 범위를 자랑하여 테스트가 빠르고 정확하게 수행 될 수 있습니다. 또한 KLA 7600 Surfscan은 SEMI 2005 및 SEMA (Semiconductor Equipment Manufacturers Association) 표준과 같은 반도체 산업에서 사용되는 가장 엄격한 품질 제어 조치를 준수합니다. 이 툴에는 성공적인 구축/Best Practice 를 보장하도록 설계된 포괄적인 지원/교육 프로그램이 포함되어 있습니다. TENCOR 7600 Surfscan은 KLA 및 Metrology Platform Enterprise 보고 소프트웨어와 완전히 통합되어 부서와 실험실 간의 결과를 공유 할 수 있습니다. 전반적으로 7600 Surfscan은 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 자산으로, 표면 지형 측정에서 최첨단 정확성과 정밀도를 제공합니다. 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface) 와 긴 액세서리 및 지원 프로그램 목록 (Long list of accessory and support program) 을 결합한 고급 광학 산란법 (optical scatterometry) 및 분광법 (spectroscopy) 기술을 통해 웨이퍼 테스트 및 도량형 요구에 이상적인 선택이 가능합니다.
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