판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #138855

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ID: 138855
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1995
Patterned wafer inspection system, 8" Model no: 269913 Chuck: Up to 8" Robotic handler 1995 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan은 사용자에게 최고 수준의 성능을 제공하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. KLA 7600 Surfscan은 자동 웨이퍼 테스트, 결함 감지 및 도량형을 할 수 있습니다. 자동 웨이퍼 테스트, 2 차 전자 이미징, x-ray 매핑, 자동 결함 분류, 자동 입자 크기 및 모양 분석 등의 기능이 있습니다. TENCOR 7600 Surfscan에는 로봇 처리 및 시각 기반 검사를 사용하여 실리콘 웨이퍼의 표면 결함을 식별, 측정 및 평가하는 자동화 시스템이 있습니다. 이는 운영 중 운영 비용과 시간을 절감하는 동시에, 인건비 (인건비) 를 절감하는 데 도움이 됩니다. 또한, 이 장치는 구조 결함 및 변형을 모니터링 (process monitoring) 및 인라인 입자 분석 (in-line particle analysis) 과 같은 더 복잡한 기능에 이르기까지 광범위한 테스트 기능을 제공합니다. 결함 발견을 위해 PROMETRIX 7600 Surfscan은 SEI (Secondary Electron Imaging) 기술을 갖추고 있으며, 이 기술은 사용자에게 캡처 및 표시되는 고해상도 이미지를 제공합니다. 또한, 이 기계는 x-ray 매핑 모듈을 통해 x-ray 매핑 및 가변성 평가를 제공합니다. 이렇게 하면 캡처된 이미지가 정확하게 표시됩니다. 이 도구는 또한 자동 결함 분류 (ADC) 를 사용합니다. ADC (Automated Defect Classification) 는 웨이퍼의 결함을 식별하고 분류하는 데 사용됩니다. 또한 7600 Surfscan (Surfscan) 을 사용하면 입자 크기와 모양을 포괄적으로 분석 할 수 있으며, 이를 통해 웨이퍼의 입자를 측정하고 분석 할 수 있습니다. KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan에는 환경 제어실, 최대 7 가지 레이저 모드, 완전 통합 교정 일정 및 사용자 친화적 인 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 와 같은 다양한 추가 기능도 있습니다. 또한, 자산은 웨이퍼 제작을 지원하는 KLA 7000 단계 (KLA 7000 Steps) 와 같은 반도체 생산 모델의 다른 부분과 통합 될 수 있습니다. 전반적으로 KLA 7600 Surfscan은 강력하고 안정적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 의 표면 결함을 정확하게 감지, 측정 및 평가, 생산 중 시간 절약, 노동 절약. 또한, x-ray 매핑 및 고급 입자 크기 및 모양 분석이 가능합니다. 이러한 모든 기능을 통해 TENCOR 7600 Surfscan은 반도체 생산 프로세스를 모니터링하는 데 이상적인 솔루션이 됩니다.
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