판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7200 Surfscan #9016550
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ID: 9016550
빈티지: 1992
Patterned wafer inspection system
Model no. 194450
115 V, 2 phase, 60 Hz, 6 A
1992 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 7200 Surfscan은 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 매우 정밀하고 정확하게 웨이퍼의 속성을 측정하도록 설계되었습니다. 이 "시스템 '은" 나노미터' 수준 의 "웨이퍼 '의 잠재적 결함 을 감지 한 다음 정확 하고 신속 히 진단 하도록 설계 되었다. KLA 7200 서프 스캔 (Surfscan) 장치는 고급 옵틱, 고급 알고리즘, 새로 개발된 소프트웨어를 통해 무결성에 영향을 미치지 않고 웨이퍼의 표면 지형을 검사하고 측정 할 수 있습니다. TENCOR 7200 Surfscan 기계는 고정밀 파이버 기반 간섭계, 운동학적 샘플 정렬 단계, 로봇 처리 모듈 및 통합 품질 관리 도구를 갖추고 있습니다. 이 간섭계는 고급 실시간 데이터 획득 기술을 사용하여 3 차원에서 엄청나게 정확한 측정을 허용합니다. 운동학적 단계 는 측정 할 때 "웨이퍼 '의 정확도 와 부드러운 움직임 을 극대화 하도록 설계 되었다. 로봇 처리 (robotic handling) 모듈은 두 축으로 웨이퍼를 회전시킨 다음 샘플 배치 영역으로 정확하게 이동하고 통합 품질 관리 (Integrated Quality Management) 자산을 통해 검사 프로세스를 제어할 수 있습니다. PROMETRIX 7200 Surfscan에는 고급 광학 모델 측정 소프트웨어 패키지도 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어는 서피스 거칠기 (surface roughness), 스텝 높이 (step-height), 깊이 (depth), 각도 (angle) 측정 등 측정 데이터로부터 다양한 매개변수를 계산할 수 있습니다. 또한 3 차원 이미징 (3D Imaging) 을 수행할 수 있으며, 한 번에 전체 웨이퍼의 표면 지형을 자세히 분석 할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 사용자에게 매우 친숙한 소프트웨어로, 분석 결과를 빠르고 쉽게 이해할 수 있는 기능을 제공합니다. 전반적으로, 7200 Surfscan 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델은 매우 정밀하고 정확하게 웨이퍼를 검사하고 측정하도록 설계된 고도의 장비입니다. 최첨단 옵틱 (Optic), 로봇 (Robotics) 취급 모듈, 소프트웨어를 통해 현재 시판되고 있는 가장 강력한 웨이퍼 검사 시스템 중 하나입니다.
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