판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7200 Surfscan #2304
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ID: 2304
Patterned wafer inspection system
Repeatability: < 3%
Mean count: 500 Particles
Diameter latex spheres: 0.5um
Resolution: 0.4um Diameter latex spheres
Substrate: SEMI Thickness standard wafer 0.3 - 0.75 mm
Substrate size: 100, 125, 150 & 200 mm
Throughput:
(22) Wafers / Hour (150 mm)
(19) Wafers / Hour (200 mm).
KLA/TENCOR/PROMETRIX 7200 Surfscan은 반도체 웨이퍼의 높은 처리량, 비파괴 테스트 및 도량형을 가능하게하도록 설계된 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 고급 테스트/검사 기능을 현장에서 검증된 알고리즘과 변수 (variables) 와 통합하여 사용자에게 가장 정확한 웨이퍼 (wafer) 테스트 및 도량형 결과를 제공합니다. KLA 7200 Surfscan의 고급 설계를 통해 기존 프로세스가 사용되는 시간과 비용 중 일부에서 비파괴적인 웨이퍼 (wafer) 테스트 및 도량형을 구현할 수 있습니다. 이 장치에는 최첨단 광학 현미경 머신이 장착되어 있으며, 이는 거시적 테스트를 수행하는 데 사용되며, 입자 측정, 에치 깊이 측정, 지형 매핑 및 선 너비 특성화에 대한 미세한 분석입니다. 또한 TENCOR 7200 Surfscan에는 저강도 웨이퍼 프로브 (wafer probe) 가 포함되어 있어 제조 직후 IC 및 기타 구성 요소를 검사 할 수 있습니다. PROMETRIX 7200 Surfscan은 매우 자동화되었으며, 웨이퍼 테스트 및 도량형 프로세스를 간소화하는 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 이러한 기능에는 완전 자동 웨이퍼 처리 도구, 자동 입자 측정에 사용되는 고해상도 CCD 카메라, 결함 분석 및 현장 검사에 사용되는 고속 데이터 획득 자산 (High Speed Data Acquisition Asset) 이 포함됩니다. 이 모델은 또한 자동 광학 검사를 다른 매우 높은 확대 (VHM) 및 장벽 결함 검사 (BDI) 기능과 통합하는 기능과 같은 독특한 기능을 제공합니다. 성능 측면에서 7200 Surfscan은 웨이퍼 테스트 및 검사 기능으로 팩을 이끌고 있습니다. 고정밀 알고리즘은 정확도, 반복 가능성 및 통계적 신뢰성을 향상시켜 신뢰할 수있는 테스트 결과를 산출합니다. 고급 광학 장비는 고해상도로 정확한 이미지를 생성합니다. 그리고 저강도 웨이퍼 프로브 (wafer probe) 는 민감한 부품에 대한 손상 위험을 완화시키고 테스트 샘플의 무결성을 유지합니다. 간단히 말해, KLA/TENCOR/PROMETRIX 7200 Surfscan은 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템으로, 기존 방법에 비해 시간과 비용의 일부에서 정확하고 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 첨단 기술과 강력한 기능으로, 완벽하고 안정적인 반도체 소자 테스트와 도량형 (metrology) 을 위한 이상적인 솔루션이 됩니다.
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