판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9287498

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan은 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 고정밀 웨이퍼 검사 및 수정 프로세스 제어를 위한 고속, 비파괴적 측정을 제공하도록 설계되었습니다. KLA 6420 Surfscan 시스템은 높은 처리율로 높은 정밀도 웨이퍼 평가를 제공하는 업계 최고의 제품입니다. 이 장치에는 3 축 진동 격리 테이블, 자동 웨이퍼 로더, 5 미크론 이미징 머신 및 대형 고해상도 카메라가 있습니다. 이미징 도구 (Imaging Tool) 는 픽셀당 1 미크론 (micron) 의 이미지를 캡처하여 가능한 한 최상의 수준의 표면 결함을 감지 할 수 있습니다. 5 미크론 광대역 레이저는 최대 150mm 범위의 웨이퍼를 평가할 수 있습니다. 또한 Surfscan 6420에는 테스트 매개변수를 자동으로 조정하고 측정 결과를 조정할 수 있는 통합 고급 프로세스 제어 (advanced process control) 에셋이 있습니다. 또한, 모델에는 신뢰할 수 있는 자동 웨이퍼 매핑 (wafer mapping) 기능이 있어 전체 웨이퍼 또는 그 이상의 부품을 신속하게 검사할 수 있습니다. 이 장비는 다양한 형식의 데이터 출력을 제공하는 고급 소프트웨어 (advanced software) 를 통해 사용자 편리하게 사용할 수 있습니다. 사용자는 측정 점 (measuring point) 및 허위 양성 (false positives )/음수 (negative) 를 포함하여 다양한 그래픽 디스플레이를 제공합니다. 모두 보고서 파일에 출력될 수 있습니다. 또한 Surfscan 6420에는 edge passivation, line width determination, bore or hole shape, layer testing 등 다양한 테스트 응용 프로그램을 지원하는 여러 소프트웨어 패키지가 있습니다. 또한 Surfscan 6420은 템플릿 일치 (template matching), 맞추기 (fit match) 및 스캔 라인 피팅과 같은 다양한 프로세스 도구를 제공합니다. 이러한 프로세스 도구를 사용하면 패턴 피쳐나 프로세스 관련 프로토콜을 신속하게 제어할 수 있습니다. 또한, 이 시스템은 기존 도량형 시스템과 완벽하게 통합되어 데이터 상호 운용성과 호환성을 제공합니다. TENCOR 6420 Surfscan은 웨이퍼 테스트 및 도량형 업계에서 가장 안정적이고 강력한 시스템 중 하나입니다. 안정적이고, 빠른 테스트 결과를 높은 정확도로 제공할 수 있습니다. 사용자 친화적 인 소프트웨어와 견고한 프로세스 제어 시스템 (process control system) 은 테스트 결과가 안정적이고 반복 가능하다는 자신감을 제공합니다.