판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9287171

KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan
ID: 9287171
Measurement system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan은 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 갈륨 비소, 인화 인듐, 실리콘 온인슐레이터 등 다양한 웨이퍼에 대한 정확하고 신뢰할 수있는 표면 측정을 제공하도록 설계되었습니다. KLA 6420 Surfscan은 고급 전자 장치 및 모션 컨트롤과 고급 광학을 결합하여 표면 토폴로지, 피쳐 크기, 표면 프로파일 (surface profile) 을 측정하기위한 고정밀도, 비파괴적 광학 시스템을 생성합니다. TENCOR 6420 Surfscan에는 532 나노 미터 (nm) 레이저를 사용하여 고해상도 이미지를 제공하는 반음계 초점 센서가 장착되어 있습니다. 레이저와 센서의 조합은 웨이퍼 표면의 매우 정확한 3 차원 이미지를 생성합니다. 이 이미지는 피쳐 크기, 깊이, 서피스 거칠기 (surface roughness) 를 포함하는 정확한 서피스 측정의 기초가 됩니다. PROMETRIX 6420 Surfscan은 또한 사용자가 정확한 웨이퍼 측정을 위해 테스트 매개 변수를 구성 할 수있는 맞춤형 소프트웨어 제품군을 갖추고 있습니다. 따라서 사용자의 테스트 요구사항을 쉽게 최적화하고, 가장 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 소프트웨어에는 선별된 사전 설치 (pre-loaded) 설정과 함께 제공되는 고급 (advanced) 기능의 어레이 (array) 가 제공되며, 이를 통해 테스트는 특정 요구에 맞게 조정할 수 있습니다. 이 장치에는 테스트 환경에서 일관된 온도, 습도 수준을 유지하는 데 도움이 되는 통합 환경 제어 장치 (Environmental Control Machine) 도 함께 제공됩니다. 이는 환경 조건에 관계없이 결과의 정확성을 보장합니다. 또한 6420 Surfscan은 직경이 최대 12 인치 인 웨이퍼를 수용 할 수있는 높은 정확도의 선형 크로스 슬라이드 스테이지를 갖추고 있습니다. KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan은 다양한 기능과 이점을 제공하는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구입니다. 강력한 소프트웨어, 매우 정확한 이미징 에셋, 통합 환경 제어 모델 (Environmental Control model) 을 통해 웨이퍼 표면을 정확하고 안정적으로 측정할 수 있는 매우 유용한 툴입니다.
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