판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9285832

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan은 WTM (Wafer Testing and Metrology) 장비로, 전반적인 프로세스 처리량이 인상적인 종합적인 웨이퍼 검사를 제공합니다. 이 시스템에는 MEMS 및 고급 CMOS 기술을 모두 지원하는 KLA 광범위한 가변 웨이퍼 검사 옵션이 있습니다. 여기에는 반복 가능성, 균일성, 성능 등 중요한 문제를 해결하는 최적화된 설계가 포함되어 있습니다. 6420은 자동 광학 검사 및/또는 다이 레벨 표면 측정의 조합으로 최대 6 개의 검출기를 지원합니다. 선형 단계를 지원하는 멀티 포지션 XY 스테이지 모션 유닛 (Multi-position XY Stage Motion Unit) 과 다양한 광학 검사 기술이 장착되어 있습니다. 실제로 6420 의 광 단계는 포인트 투 포인트 (point-to-point) 정렬 소프트웨어를 통해 센서의 정확한 정렬을 보장합니다. 이 최첨단 정렬 소프트웨어는 높은 정확도, 감소된 필드 왜곡 및 향상된 반복성을 제공합니다. KLA 6420 Surfscan에는 기판 충실도 및 공구 수명 연장을 위해 통합 된 기판 처리 기계도 있습니다. 고유한 Auto-Wide Field 에셋이 장착되어 있어 스테이지 흔들림 (stage wobble) 을 더욱 줄이고 기판 중심 정확도를 향상시킬 수 있습니다. 이를 통해 프로세스 전체에서 더 정확한 측정이 가능합니다. 자동 와이드필드 모델은 TENCOR LOMS (Laser Interferometric Overlay Equipment) 에 의해 보완되어 오버레이 성능을 크게 향상시킵니다. 또한 TENCOR 6420 Surfscan은 포괄적인 데이터 획득, 분석, 시각화 및 보고 기능을 갖추고 있습니다. 이 강력한 소프트웨어 패키지를 사용하면 데이터를 빠르고, 쉽게 분석, 조회할 수 있고, 프로세스 최적화 스크립트를 실행할 수 있습니다. 또한 6420 은 완전 자동 시스템 제어를 지원하므로 기존 Fab 플랜트에 원활하게 통합할 수 있습니다. PROMETRIX 6420 Surfscan은 인상적인 기능과 최첨단 기술을 제공하는 고급 WTM 장치입니다. 종합적인 기능, 신뢰성 때문에 다양한 웨이퍼 (wafer) 검사 및 도량형 어플리케이션에 이상적인 머신이 됩니다. 6420 은 운영 효율성과 처리량을 대폭 향상시키는 한편, 탁월한 ROI (투자 수익) 를 제공합니다.