판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9254828

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan 장비는 종합적인 웨이퍼 표면 특성을 제공하기 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 구체적으로, 6420은 높이 교정, 커패시턴스, 전도성, 임계 치수 (CD), 거칠기, 균질성, 산란 및 선 너비 변형을 포함한 다양한 PSA (Power Signature Analysis), 필름 및 지형 측정을 제공합니다. 전체 샘플 크기와 복잡성. 6420 (6420) 은 가장 빠르고 정확한 웨이퍼 표면 테스트를 가능하도록 설계된 통합 장치입니다. MSC (Metrology Stabilization) 기술과 업계 최고의 ProScan을 결합하여 원자 수준 프로파일 측정을 정확하고 신속하게 수행할 수 있습니다. 특허를받은 알고리즘을 사용하여 6420은 0.2nm 공간 해상도와 1 ~ 2nm 수직 해상도의 정확한 표면 특성화 기능을 제공합니다. 이 기계는 또한 패드, 트렌치, 비아 (vias), 게이트 (gate) 와 같은 주요 기능을 자동으로 감지하고 에지 감지 기능을 제공 할 수 있습니다. 6420 (6420) 은 기능 세트 및 측정 방법이 다른 다양한 센서를 갖춘 통합 도구입니다. 여기에는 기울어진, 균일하지 않은 및 곡선 패턴, 다중 레벨 측정 또는 단일 및 다중 파장 PSA 측정을위한 솔루션이 포함됩니다. 또한 자체 교정, 물 담그기, 교정 라인, 수동 패드 스캔 등 다양한 교정 모드를 제공합니다. 6420은 3nm 미만의 분수 시야 불확실성으로, 업계 최고의 측정 반복 가능성을 제공합니다. KLA 6420 Surfscan은 직관적이고 사용하기 쉬운 자산으로, 사용자에게 친숙한 인터페이스와 그래픽 분석 도구를 제공합니다. 또한 사용자 지정 가능한 설정으로 구성이 매우 용이하여, 사용자가 모델의 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. 6420 (6420) 은 다양한 고급 기능을 제공하며 웨이퍼 테스트에 매우 다양합니다. 세부적인 웨이퍼 표면 특성화 (wafer surface characterization) 가 필요한 생산 라인 또는 실험실을위한 이상적인 장비입니다.