판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9249745

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KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan
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ID: 9249745
Measurement system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan은 일련의 고해상도 카메라와 레이저를 사용하여 다양한 검사 및 측정 작업을 용이하게하는 정교한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 시스템은 결함 감지, 프로세스 제어 모니터링, 오버레이 측정 (overlay measurements) 등 다양한 응용 프로그램을 수행하는 데 사용될 수 있습니다. 첨단 광학 (Optic) 과 이미징 (Imaging) 시스템을 사용하면 매우 작은 결함을 감지하고 프로세스 단계의 상태를 정확하게 모니터링할 수 있습니다. 기울기 및 회전 수정 기술을 사용하여 KLA 6420 Surfscan은 정확한 정확도로 결과를 얻을 수 있습니다. 이 장치에는 자동 초점 제어 장치 (automatic focus control) 가 장착되어 있어 웨이퍼 (wafer) 표면 지형의 변동에 대비하여 이미징을 빠르게 조정할 수 있습니다. TENCOR 6420 Surfscan에는 고급 결함 검토 (Defect Review) 소프트웨어가 있으며, 이를 통해 모든 결함이 단일 모니터에서 현장에서 검토될 수 있습니다. 검토 스테이션은 결함을 확인하고 완전한 추적 가능성과 종합적인 품질 제어를 허용합니다. 여러 뷰와 자동화된 빠른 뷰 최적화 (Quick View Optimization) 의 조합을 사용하여 결함을 보다 쉽고, 빠르고, 보다 효율적으로 검토할 수 있습니다. 또한 6420 Surfscan에는 풀 필드 오버레이 측정, 초점 측정, 웨이퍼 간 단계 측정 등 통합 프로세스 제어 기능이 있습니다. 이를 통해 잠재적인 프로세스 변경과 이상을 신속하게 파악하고 찾을 수 있습니다. 또한 이 "머신 '에는 조작 하기 쉬운 여러 가지 자동 기능 이 있다. 이 제품은 정렬, 검사, 측정, 기타 다양한 기능을 완벽하게 자동화했습니다. 즉, 광범위한 교육 없이 사용할 수 있습니다. 또한 직관적인 최상위 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 통해 사용자가 쉽게 제어할 수 있습니다. PROMETRIX 6420 Surfscan은 매우 강력한 도구이며, 프로세스 및 제품 제어를 용이하게하기 위해 매우 안정적인 결과를 제공합니다. 뛰어난 기능과 기능으로 다양한 용도에 이상적입니다 (영문). 제조 환경의 효율성과 품질을 극대화할 수 있는 완벽한 시간 (time-time) 을 제공할 수 있습니다.
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