판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9237482

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan은 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 솔루션을 제공하도록 설계된 고급 검사 및 도량형 플랫폼입니다. 이 장비는 제조 공정 (Manufacturing Process) 의 각 단계에서 웨이퍼 성능을 모니터링하고 분석 할 수 있는 고정밀 표면 검사 (HP) 기능과 3D 이미징 기능을 조합하여 제공합니다. KLA 6420 Surfscan의 고급 광학 시스템을 사용하면 위상 이동 패턴 투사 (phase shift pattern projection), 브라이트필드 (brightfield) 및 다크필드 이미징 (darkfield imaging), 가장 섬세한 웨이퍼 (wafer) 에 대한 낮은 조명 탐지를 조합하여 최고 해상도의 결과를 얻을 수 있습니다. 이 장치는 인프라 수준의 자동화 (automation) 를 사용하여 설계되었으며, 다양한 처리량 및 정확도 옵션을 신속하게 구축할 수 있습니다. 또한, 사용자는 컴퓨터를 통해 활성화된 고유한 검사를 제어할 수 있으며, 프로세스 요구에 따라 '사용자 지정 (customize)' 할 수 있습니다. 또한 고급 분석, 프로세스 모니터링 및 보고 기능도 제공합니다. 여기에는 Syapsys와 결합 된 KLA Analyze가 포함되어 있으며, 사용자는 변수를 매핑하고 웨이퍼 기능의 미묘한 변화를 감지할 수 있습니다. 또한, 에셋은 결함 매핑 (defect mapping) 및 입자 검출 도구 (particle detection tools) 를 사용하여 표면 지형의 작은 변화를 모니터링할 수 있습니다. 또한 사용자 정의 보고서를 생성하여 복잡한 데이터 분석을 더욱 쉽고 빠르게 수행할 수 있습니다. Surfscan 6420 모델은 독점 TENCOR IC Works 소프트웨어로 구동되며, 이 소프트웨어는 기본 기능과 고급 기능, 추가 프로세스 최적화를 위한 알고리즘 기반 도구를 모두 제공합니다. 이 장비는 효율성과 경제성을 위해 설계되었으며, 컴퓨터나 전문적인 이해가 필요 없는 자동 (automated) 작동을 제공합니다. 이것은 실험실, 연구 센터 및 생산 공장에서 사용하기에 이상적입니다. 마지막으로 PROMETRIX는 Surfscan 6420 시스템을 포괄적으로 지원합니다. 이 회사는 다양한 서비스 프로그램 (service program) 을 제공하고, 고객의 개별 요구에 맞게 장치를 보다 효율적으로 조정할 수 있는 옵션을 제공합니다. 여기에는 현장 엔지니어링 지원, 실무 교육 및 종합적인 온라인 기술 지원이 포함됩니다.