판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9227631

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ID: 9227631
Measurement system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan은 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 최고 수준의 웨이퍼 품질 및 프로세스 제어를 보장하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 제조 반도체 장치 (Manufacturing Semiconductor Device) 와 관련된 프로세스의 결함 또는 이상을 파악하고 수정하기 위해 높은 정확도와 정확도로 웨이퍼 (Wafer) 지형을 측정하고 분석 할 수 있습니다. KLA 6420 Surfscan에는 비전 유닛, 고속 웨이퍼 엘리베이터, 디지털 카메라 및 다양한 강력한 소프트웨어 응용 프로그램이 장착되어 있습니다. 비전 머신 (vision machine) 은 웨이퍼를 빠르게 인식하고 결함을 정확하게 검사하도록 설계되었습니다. 모서리 탐지 (Edge Detection), 히스토그램 분석 (Histogram Analysis), 패턴 인식 (Pattern Recognition) 등을 포함한 고급 알고리즘이 장착되어 있습니다. 6420에는 고속 웨이퍼 엘리베이터 (Wafer Elevator) 가 포함되어 있으며, 이 엘리베이터는 자동으로 들어올리고 웨이퍼를 최대 1000um 이동 범위까지 낮춥니다. 이를 통해 기계는 웨이퍼를 빠르게 측정하고 웨이퍼 처리와 관련된 오류를 줄일 수 있습니다. 또한, 웨이퍼 서피스 (Wafer Surface) 기능을 더 자세히 분석하기 위해 웨이퍼 (Wafer) 표면의 고해상도 이미지를 캡처 할 수있는 디지털 카메라가 장착되어 있습니다. 또한 TENCOR 6420 Surfscan 에는 다양한 소프트웨어 툴과 애플리케이션이 장착되어 있어 Wafer 프로세스를 분석, 최적화할 수 있습니다. 이러한 도구에는 고급 자동 교정, 히스토그램 분석, 패턴 인식, 모서리 감지 등이 포함됩니다. 이 도구는 두께, 플랫, 서피스 마무리와 같은 자동 서피스 측정도 지원합니다. 요약하면, PROMETRIX 6420 Surfscan은 최고 수준의 웨이퍼 품질 및 프로세스 제어를 보장하도록 설계된 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 자산입니다. 다양한 하드웨어/소프트웨어 (하드웨어/소프트웨어) 기능을 통해 웨이퍼를 빠르고 정확하게 측정, 분석할 수 있습니다. 또한 고속 웨이퍼 엘리베이터 (Wafer Elevator), 디지털 카메라 (Digital Camera), 강력한 소프트웨어 어플리케이션 등이 포함되어 있어 Wafer Manufacturing과 관련된 다양한 프로세스와 기능을 최적화할 수 있습니다.
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