판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9221587

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan은 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 임계 치수 (CD) 결함 검사, 나노 그래피, 오버레이 정렬, 웨이퍼 레벨 CD 도량형, 균일 측정 등과 같은 다양한 도량형 응용 프로그램에 사용할 수 있습니다. 이 장치는 고급 광학, 전기, 기계 기술을 사용하여 고정밀 (high-precision) 측정 및 생산 모니터링 작업의 요구를 충족시킵니다. 기계의 주요 구성 요소에는 자동 웨이퍼 처리 도구, 다중 스테이션 스핀 척 스테이지, 대규모 탐지기, 레이저 스캐너, 주사 전자 현미경 (SEM) 및 정렬 된 망원경 이미징 자산이 포함됩니다. 자동화된 웨이퍼 처리 (Automated Wafer Handling) 모델을 사용하면 서로 다른 장비 컴포넌트 간에 샘플 전송 및 로드를 효율적으로 수행할 수 있습니다. 멀티 스테이션 스핀 척 스테이지는 최대 4000 rpm의 속도로 샘플을 회전하는 데 사용됩니다. [대용량] 검출기는 이미지 데이터 및 기타 프로세스 품질 매개 변수를 포함한 시스템 데이터를 수집합니다. 이 검출기는 고유한 CCD (charge-coupled device) 및 광전자 증식 기술을 사용하여 고속 신호 캡처 및 전송을 제공합니다. 16 비트 레이저 스캐너는 레이저 빔을 사용하여 표면 특징, 중요한 피쳐 크기, 결함을 정확하게 분석합니다. SEM은 결함 검사 및 측정에 사용되는 서브 미크론 해상도 (sub-micron resolution) 이미지를 생성하는 데 사용됩니다. 이미지 획득 프로세스는 저소음 이미징 체인을 사용하여 향상되었습니다. 이렇게 하면 작은 피쳐의 정밀도 크기와 모양 측정이 가능합니다. 정렬 된 망원경 이미징 장치 (aligned telescope imaging unit) 는 웨이퍼의 다른 층 사이에서 서브 미크론 오버레이 정렬 정밀도를 측정하는 데 사용됩니다. 이 기계는 고해상도 비디오 카메라와 클로즈드 루프 (closed-loop) XY 모션 스테이지, 강력한 이미지 분석 소프트웨어를 결합하여 최고의 오버레이 정확도 값을 제공합니다. 이 도구에는 다양한 입력 옵션이 있는 모니터 에셋도 포함되어 있습니다. 또한 실시간 샘플 이미지 및 기타 프로세스 관련 정보를 최대 1000 배 확대할 수 있습니다. 데이터는 온보드 하드 드라이브 (On-board hard drive) 를 사용하여 전송 및 저장되며, 추가 분석 또는 아카이브를 위해 원격 디바이스로 백업 또는 다운로드할 수 있습니다. KLA 6420 Surfscan 모델은 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 고급 장비입니다. 높은 속도의 신뢰성, 정확한 결과, 우수한 사용자 환경을 통해 백업할 수 있습니다. 이 시스템에는 자동 웨이퍼 처리 기술, 고품질 이미징 시스템 및 강력한 소프트웨어가 포함되어 있어 웨이퍼 레벨 CD 도량형, 나노 그래피, 오버레이 정렬, 균일 측정 응용 프로그램에 대한 정확한 결과를 제공합니다.