판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9209993
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판매
ID: 9209993
웨이퍼 크기: 4"
빈티지: 1995
Unpatterned surface inspection system, 4"
Set up for 4" x 4" substrate
Non patterned wafer film surface analyzer
Sub micron particles:
Polysilicon
Tungsten
Epitaxial
Polished silicon
Round or rectangular subtrates: 4", 5", 6", 8"
Configured for 4 x 4 square wafers
Setup with CD rom
Automatic wafer handler
Capture rate on bare silicon: 0.1 um @95% Sensitivity
Spatial resolution: 50 um
Contamination less than 0.005 particles / cm² greater than 0.15 um
Haze sensitivity: 0.02 ppm
Defect map and histogram with zoom
2D Signal integration
Non contaminating robotic handler
X-Y Coordinates
Random access for sender / Receiver unit
SECS GEM Capable
Illumination source: 30 mW Argon-ion laser
Wavelength: 488 nm
Operating system: Microsoft Windows 98
1995 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan은 반도체 제품에 대한 자세한 정보가 필요한 엔지니어 및 기술자에게 고품질 데이터를 제공하기 위해 설계된 종합 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 도구는 다양한 웨이퍼 유형, 크기 및 모양에 대한 표면, 결함, 오버레이, 거칠기, 접착 또는 오염 분석 측정을 수행 할 수 있습니다. 그것 은 "웨이퍼 '의 표면 과 결함 의 질 을 조사 하고," 마이크로' 전자회로 와 상호 연결 의 성능 을 분석 하는 데 사용 된다. KLA 6420 Surfscan에는 여러 개의 감지 시스템과 0.1 미크론 해상도로 미크론 레벨 표면 특성을 측정하도록 설계된 분석 기능이 포함되어 있습니다. 여기에는 가변 뷰 (variable field of view) 모드가 있으며, 한 패스에서 전체 웨이퍼 스캔이 가능하며, 미세한 분석을 위해 최대 10 배의 배율 설정을 조정할 수 있습니다. 입자, 핀 홀, 이물질 등 3 가지 유형의 결함을 측정할 수 있으며, 이미지와 데이터 포인트를 동시에 얻을 수 있습니다. 자동 측정 및 탐지 시스템 (automated measurement and detection system) 은 웨이퍼 서피스에 대한 3 차원 분석 및 전체 결함 맵을 제공하여 사용자가 문제 영역을 식별하고 해결 할 수 있습니다. TENCOR 6420 Surfscan은 고급 알고리즘을 사용하며 초고속 정전기 측정 장치를 사용하여 탁월한 정확성과 반복 성을 제공합니다. 또한, 모서리 이벤트를 감지하고, 잘못된 경고를 최소화하고, 숨겨진 결함을 감지하고, 다양한 프로세스 윈도우에서 측정을 수행하도록 설정되어 있습니다. 또한 모서리 (Edge) 영역 외부의 웨이퍼 결함을 감지하고 측정 할 수 있습니다. 일반적으로 다른 시스템에 의해 누락됩니다. 이 기기의 사용자 친화적 인 인터페이스를 사용하면 빠른 설치 및 세부 정보 분석도 가능합니다. 또한 자동 조정 (auto-calibration) 기능이 장착되어 있어 사용자 교육, 시간, 비용을 절감할 수 있습니다. 또한, 사용자 개입을 최소화하고 데이터 정확성을 높이기 위해 캐스케이드 시스템 (Cascade Machine of Fail-Proof Measures) 으로 설계되었습니다. 전반적으로 6420 Surfscan은 현재 사용 가능한 가장 정확하고 다양한 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구 중 하나입니다. 가장 안정적이고 정밀한 결함 감지를 제공하도록 설계되었으며, 사용자 친화적인 설계로 사용이 간편하고, 유지 관리가 용이합니다 (영문). 이 올인원 웨이퍼 (All-in-one wafer) 측정 도구는 모든 반도체 제품 테스트 및 분석 요구에 완벽한 선택입니다.
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