판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9207287

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan은 반도체 웨이퍼의 전기 및 광학 특성을 정밀 분석하기 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 고급 광학 및 전자 빔 기술을 사용하여 얕고 깊은 서브 미크론 (sub-micron) 기능을 스캔하여 각 웨이퍼의 결함, 오염 물질 및 전기 특성을 감지합니다. KLA 6420 서프 스캔 (Surfscan) 은 웨이퍼 표면의 고해상도 사진을 찍어 전기 맵으로 변환합니다. 그런 다음, 이 전기 지도 를 사용 하여 전위, 서피스 피쳐, 필름 두께 와 같은 여러 매개변수 를 측정 합니다. 또한, TENCOR 6420 Surfscan은 참호와 바이아의 깊이와 웨이퍼 표면의 거칠기를 정확하게 측정 할 수 있습니다. 이 로 말미암아, 육안 으로 볼 수 없는 결함 과 오염 물질 을 탐지 할 수 있다. 그렇다. 또한 6420 Surfscan 은 Wafer 와 CAT (Comparative Analysis Tool) 간의 속성을 쉽게 비교할 수 있도록 하는 비교 도구 (Comparison Tool) 와 같은 고급 기능을 제공합니다. PROMETRIX 6420 Surfscan은 전자 빔 (e-beam) 및 레이저 스캔 (laser scanning) 을 포함한 고급 고해상도 스캔 기술을 사용하여 웨이퍼의 지형을 정확하게 측정합니다. 이것은 KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan에게 웨이퍼 표면 및 구조에 포함 된 결함 및 오염 물질을 탐지 할 수있는 기능을 제공합니다. KLA GeoComerTM 기술을 사용하여 KLA 6420 Surfscan은 모든 표면 거칠기 및 기타 비기하학적 요소에 대해 자동으로 교정 할 수 있습니다. TENCOR 6420 Surfscan (TENCOR 6420 Surfscan) 은 생산성 향상과 품질 관리 향상을 위해 설계된 다양한 기능을 갖춘 강력한 장치입니다. 이 기계는 6420 Surfscan (Surfscan) 이 입수 한 데이터를 신속하게 탐색 할 수있는 직관적 인 메뉴와 버튼을 사용하여 사용하기 쉽도록 설계되었습니다. 고급 스캔 기술을 활용하여 PROMETRIX 6420 Surfscan은 전례없는 정밀도로 웨이퍼 특성을 분석하고 정확하게 측정 할 수 있습니다.