판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9205197

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan은 "Blue Scan" 이미징 및 매핑 기술을 사용하여 웨이퍼 기능과 웨이퍼 결함에 대한 데이터를 얻는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 두 가지 주요 목적으로 웨이퍼를 성공적으로 측정 할 수 있습니다. 첫째, 웨이퍼 (wafer) 가 사양 내에 있는지 확인하기 위해 웨이퍼 (wafer) 의 지형을 측정하는 데 사용됩니다. 둘째, 웨이퍼 (wafer) 표면 또는 웨이퍼 (wafer) 에 있는 제품 장치에서 잠재적 결함을 감지하는 데 사용됩니다. KLA 6420 Surfscan은 뛰어난 지형 이미징 및 측정 기능을 제공합니다. 포워드 스캐터 및 백 스캐터 이미징 기술을 사용하여 웨이퍼 표면의 2D 블루 스캔 (Blue Scan) 이미지를 생성합니다. 이미지에는 높이, 너비, 피치, 반지름 등 웨이퍼 피쳐의 지형에 대한 정보도 0.05 µm로 낮아집니다. 이러한 이미지는 정해진 표준 (set standard) 과 비교하여 wafer 가 원하는 사양 내에 있는지 확인합니다. 또한 TENCOR 6420 Surfscan에는 Automated SmartAnalyzer (자동 SmartAnalyzer) 라는 고급 광학 기반 감지 기술이 포함되어 있습니다. 이 기술은 2D Blue Scan 이미지에 표시된 것처럼 결함의 광학적 특성을 기준으로 결함을 감지 할 수 있습니다. 이 기술은 정교한 알고리즘을 사용하여 다양한 유형의 결함 (예: 입자 오염, 오버에치, 스크래치) 을 식별하고 분류합니다. 또한 Automated SmartAnalyzer 는 크기, 모양, 깊이 등의 결함 유형에 대한 보다 자세한 정보를 제공할 수 있습니다. 이 장치에는 ProSystem이라는 결함 분석 소프트웨어 제품군도 포함되어 있으며, PROMETRIX 6420 Surfscan에서 수집 한 결함 데이터를 분석하는 데 사용할 수 있습니다. ProSystem을 사용하면 결함 크기, 배포, 위치, 유형에 대한 자세한 보고서를 생성할 수 있습니다. 이 소프트웨어 제품군에는 시간 경과에 따른 데이터 세트 추세를 파악하는 데 도움이 되는 내장된 통계 프로세스 (statistical process) 가 포함되어 있습니다. 전체적으로 6420 Surfscan은 강력하고 다양한 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계로, 탁월한 이미징 및 측정 기능을 제공합니다. Blue Scan 이미징, Automated SmartAnalyzer 기술 및 ProSystem 분석 소프트웨어의 조합으로 웨이퍼 표면 이미징, 결함 감지, 결함 분석에 효과적인 툴이 됩니다.