판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9133277

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan은 고도의 다중 응용 프로그램 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 탁월한 소프트웨어 환경과 종합적인 하드웨어 플랫폼 (Comprehensive Hardware Platform) 을 통해 다양한 업종의 운영 환경에 적합한 솔루션을 구축할 수 있습니다. 특히 웨이퍼 테스트 (Wafer Testing) 와 도량형 (Metrology) 활동의 신뢰성과 예측 가능성을 높이고 비용을 절감하고 중요한 통찰력을 발견하도록 설계되었습니다. KLA 6420 Surfscan은 고유한 OCM (Optical CD Metrology) 스캔 시스템을 사용하여 CD (Critical Dimension) 값뿐만 아니라 두 선 너비의 정확한 측정을 수행합니다. 자동화된 비 침입 식 샘플 스테이지 '라이트 아웃 (Lights-Out)' 기능이 장착되어 있으며, 이 장치는 전체 웨이퍼 표면 검사와 고객을위한 마이크로 구조에 대한 세부 분석을 정확하게 수행 할 수 있습니다. 이 기계는 2 축 기울기 보상이 가능하며, 높은 평면 구조를 조사하고 매핑하는 데 중요합니다. 또한 TENCOR 6420 Surfscan에는 최첨단 소프트웨어 기능이 장착되어 있어 하드웨어의 성능이 향상되었습니다. 저해상도 (1GHz/6GHz) 를 비롯한 다양한 유형의 고속 스펙트럼을 캡처, 분석할 수 있으며, TTV, 측정, 프로세스 제어 평가 등 다양한 결함 검사를 수행할 수 있습니다. 소프트웨어는 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface) 를 기반으로 구축되었으며, 사용자 오류를 줄이고 전반적인 효율성을 높일 수 있습니다. PROMETRIX 6420 Surfscan에는 소프트웨어 정의 청소 실 기능도 포함되어 있으며, 일련의 크롬 기반 업로드 가능한 레코드를 통해 완전한 운영 추적 가능성을 제공합니다. 적절한 교정을 통해 2nm 정도의 매우 정확한 측정이 가능합니다. PIC (Advanced Particle Imaging and Counting) 기능을 갖추고 건식 및 습식 공정에서 웨이퍼 및 레티클로부터 데이터를 얻을 수도 있습니다. 전체적으로 6420 Surfscan은 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템의 최신 향상을 나타냅니다. 정교한 광학 CD 도량형 툴에서 포괄적인 소프트웨어 기능에 이르기까지, 이 자산은 정확한 테스트, 폭넓은 다양한 기능, 신뢰성, 비용 효율적인 제조 기능을 제공합니다.