판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9057232

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan은 반도체 제작 과정에서 실리콘 웨이퍼에 대한 고급 테스트 및 분석을 수행하도록 설계된 아트 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비의 상태입니다. 이 시스템은 탁월한 정확도, 정밀도, 처리량을 제공하여 웨이퍼 도량형 (wafer metrology) 요구 사항에 이상적입니다. 다용도, 신뢰성 있는 광 플랫폼을 갖추고 있으며 고급 자동 wafer-mapping (자동 웨이퍼 매핑), 결함 이미징 (결함 이미지) 및 결함 검토 기능을 제공합니다. KLA 6420 Surfscan은 비교할 수없는 제어 및 처리 능력을 제공하는 Windows- 기반 도량형 소프트웨어를 사용합니다. 이 제품을 사용하면 빠르고 효율적인 데이터 처리/보고 기능을 통해 테스트/설계를 사용자 정의할 수 있습니다. 이 장치에는 대규모의 도량형 모드가 있으며, 32 포인트 그리드 스캐닝 어레이 (32 포인트 그리드 스캐닝 어레이) 는 모든 크기와 두께의 기판 매트에 향상된 샘플링 커버리지를 제공합니다. 여기에는 특허를 획득한 SmoothScan (tm) 플랫폼이 포함되어 있으며, 고급 optics 축소 및 적응 속도 제어를 통해 불균일 한 샘플 회전을 줄여 보다 정확한 측정이 가능합니다. TENCOR 6420 Surfscan에는 먼지 입자를 제거하고 웨이퍼에 대한 기계적 스트레스를 줄이는 특수 먼지 보호 필터가 장착되어 있습니다. 웨이퍼 두께, 영역 두께, 전체 표면적, 능선 장착 간격, 다이 투 다이 매핑 등 빠르고 정확한 도량형 측정을 달성 할 수 있습니다. 또한 강력한 자동 결함 인식 (automated defect recognition) 및 분석 기능을 갖추고 있으므로, 웨이퍼 검사를 빠르고 효율적으로 완료할 수 있습니다. 6420 Surfscan은 밝은 필드, 어두운 필드 이미징 등 다양한 이미징 모드를 갖춘 고성능, 매우 정확한 기계입니다. 또한 통합 IAS (Image Analysis Tool) 가 장착되어 Wafer 구성 프로세스 중 테스트 및 분석을 자동화합니다. IAS 소프트웨어는 신속한 문제 해결을 지원하며 테스트 및 분석 시간을 단축합니다. 자산은 다른 도량형 시스템과 완벽하게 통합되어, 데이터를 손쉽게 전송하고 공유할 수 있습니다. PROMETRIX 6420 Surfscan (PROMETRIX 6420 Surfscan) 은 wafer metrology and testing (웨이퍼 도량형 및 테스트) 에 필요한 요구 사항을 충족하도록 설계된 고급적이고 안정적인 모델입니다. 이 제품은 최고의 정확도, 정밀도, 처리량, 스토리지 용량을 제공하여 모든 반도체 제작 프로세스에 필수적인 툴입니다.