판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #293623028

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan은 빠르고 정확한 인라인 웨이퍼 테스트 및 도량형을 위해 설계된 다중 센서 장비입니다. 광학, 레이저, 센서, 사용자 정의 소프트웨어의 조합을 제공하여 다양한 기판에 걸쳐 고급 표면 분석, 결함 식별, 치수 도량형 (dimensional metrology) 을 제공합니다. 6420은 정교한 수정 된 Miller 트리플 빔 (triple-beam) 스캐닝 레이아웃을 기반으로 하는 독특한 광 구성을 제공합니다. 이 스캔 패턴을 사용하면 성능을 저하시키지 않고 다양한 초점이 있는 빠르고, 고해상도 이미징을 수행할 수 있습니다. 또한, 시스템은 매우 훌륭한 피쳐뿐만 아니라, 더 크고 불규칙한 형태의 피쳐를 측정 할 수 있습니다. 6420은 또한 도량형 패키지의 일부로 레이저 광학 장치를 갖추고 있습니다. 여기에는 푸리에 변환 프로파일로미터가 포함되어 매우 정확한 표면 매핑이 가능합니다. 이것은 표면 지형 특성이 필요한 응용 프로그램에서 특히 도움이됩니다. 6420 은 런투런 (run-to-run) 제어 기능이 내장되어 있어 운영자가 실시간으로 샘플 상태를 모니터링하고 반복성을 보장할 수 있습니다. 또한 다양한 하드웨어/소프트웨어 옵션을 사용하여 성능, 정확성, 테스트 속도를 사용자 정의할 수 있습니다. 마지막으로, KLA에서 제공하는 소프트웨어 패키지에는 결함 식별 (오염 및 구조 결함 모두), 패턴 일치, 도량형 도구, 위상 대비 이미징 등의 자동 분석 도구 모음이 포함되어 있습니다. 이러한 모든 도구는 사용자 정의 프로그래밍 (custom programming) 옵션과 함께 다양한 웨이퍼 테스트 (wafer-testing) 및 도량형 어플리케이션에서 최대의 유연성과 사용 편의성을 제공합니다. 전반적으로 KLA 6420 Surfscan은 강력하고 다재다능한 기계로, 다양한 기판을 빠르고, 정확하며, 안정적으로 테스트하고 측정합니다. 고급 옵틱 (Optic), 레이저-옵틱 (Laser-optic) 시스템, 강력한 소프트웨어가 결합되어 있어 인라인 테스트 및 도량형 요구 사항에 적합한 솔루션입니다.