판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9410475

KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan
ID: 9410475
Inspection system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan은 다양한 기술에 대한 정확하고 고해상도 측정을 제공하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 시스템은 컨트롤러 스테이션에 연결된 웨이퍼 테스트 헤드 (wafer testing head) 로 구성됩니다. 테스트 헤드에는 광학 및 전기 헤드 (optical and electrical head) 가 포함되어 있으며, 샘플 테스트에 필요한 광학 및 전기 부품이 들어 있습니다. 컨트롤러 스테이션 (Controller Station) 에는 샘플 테스트를 위해 매개변수를 사용자 정의할 수 있는 소프트웨어가 장착되어 있습니다. KLA 6200 Surfscan은 연구 및 생산 용도로 설계되었으며, 이미징, 도량형 및 결함 검출을위한 정확한 측정 기능을 제공합니다. 이 장치는 정확한 웨이퍼 측정을 위해 다재다능한 광학, 전기 및 기계 부품을 제공합니다. 혁신적인 옵틱과 강력한 조명 시스템은 고해상도 이미징 및 정확한 3D 측정 (정확한 위치 조정 필요) 을 제공합니다. 또한, 기계는 가변 속도 스캐닝 (variable speed scanning) 을 가능하게 하여 특정 요구 사항에 따라 테스트 주기를 사용자 정의할 수 있습니다. Surfscan 6200은 자동 결함 검토, CD 균일 성 및 평평 측정, 입자 및 외부 재료 검사, 스펙트럼 측정 등 다양한 테스트 기능을 제공합니다. 또한 자동화된 테스트 (automated testing) 기능을 통해 다양한 프로세스 매개변수와 결과 추세를 빠르고 정확하게 평가할 수 있습니다. 또한, 이 자산을 통해 사용자는 로컬 (local) 및 원격 (remote) 프로세스 매개변수를 설정 및 저장하여 데이터 수집 및 분석을 보다 효율적으로 수행할 수 있습니다. 또한 TENCOR 6200 Surfscan 에는 프로세스 제어 및 계획 기능이 포함되어 있으므로 사용자는 프로세스 작업을 보다 효율적으로 계획, 분석, 제어할 수 있습니다. 이 모델은 또한 광범위한 데이터 로깅 (Logging) 및 보고 (Reporting) 기능을 제공하므로 엔지니어가 프로세스를 보다 쉽게 문제 해결하고 연구할 수 있습니다. 전반적으로 PROMETRIX 6200 Surfscan은 정확하고 다양한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 광범위한 응용 프로그램에서 정확한 측정을 제공 할 수 있습니다. 이 시스템은 리서치 (Research) 와 프로덕션 (Production) 사용을 모두 위해 설계되었으며 다양한 응용 분야에 이상적입니다. 이 장치는 자동화된 테스트/보고 기능을 통해 엔지니어가 프로세스 문제를 해결하고 연구하는 동시에, 정확한 측정/신뢰성 있는 데이터를 제공할 수 있습니다.
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