판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9299889

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan은 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 직경이 6 ~ 12 인치 인 웨이퍼에 대한 파괴적이지 않은 레이어 별 시각적 검사를 수행 할 수 있습니다. 이 시스템에는 종합적인 패라메트릭, 오버레이 및 DLA (Defect Location Analysis) 기능이 장착되어 있습니다. 이 장치는 나노 미터 (nanometer) 정확도로 측정 할 수 있으므로 반도체 제조에서 가장 까다로운 응용 분야에 적합합니다. KLA 6200 Surfscan은 전체 웨이퍼 표면의 고해상도 이미지를 수집하도록 설계된 고급 옵틱을 사용합니다. 자동 레이저 높이 프로파일링 머신을 사용하여 정확한 3 차원 표면 분석을 할 수 있습니다. 이 도구는 EBCS (Electron Beam Cross Sectioning) 를 사용하여 서브 미크론 입자와 결함을 감지하는 자동 결함 감지 자산도 갖추고 있습니다. 적절한 반복 가능성과 정확성을 보장하기 위해 TENCOR 6200 Surfscan에는 표준 (standard) 및 참조 웨이퍼 (reference wafer) 를 사용하는 자동 교정 모델이 장착되어 있습니다. 또한 고해상도 도량형 측정에 대한 업계 최고의 메가 포인트 및 선형 테스트를 제공합니다. 이 장비는 In-Fab 웨이퍼 관리 시스템과 밀접하게 통합되어 있으며, Surfscan 및 Fab 내 다른 시스템 간의 통신이 가능합니다. 6200 Surfscan은 고급 도구를 사용하여 시스템 가동 시간과 효율성을 극대화하여 전체 주기 시간을 단축합니다. 여기에는 문맥 인식 메뉴가 포함된 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 결함 감지 성능에 대한 신속한 피드백 (feedback) 을 위한 포괄적인 데이터 검토 및 분석 도구 (analysis tools) 가 포함됩니다. 이 장치는 자동 레시피 개발 및 고급 레시피 관리 도구도 갖추고 있습니다. PROMETRIX 6200 Surfscan은 상당히 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계입니다. 고급 옵틱과 자동 센서 및 교정 기능을 결합하여 임계 웨이퍼 표면 분석에 대한 서브 미크론 해상도 (sub-micron resolution) 및 향상된 반복성 및 정확성을 제공합니다. 혁신적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 와 데이터 관리 툴 (Data Management Tools) 은 빠르고 정확한 웨이퍼 분석이 필요한 제조업체를 위한 최고의 솔루션입니다.