판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9272264

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan은 연구 및 생산 환경을위한 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 반도체 재료의 저항성, 유전성, 커패시턴스 (capacitance) 및 누출 매개변수 (leakage parameters) 와 같은 전기 특성의 빠르고 정확한 측정이 가능합니다. 이 시스템은 Foundry, Fab, Engineering Library 등 다양한 프로세스 노드와 최신 기술을 지원하도록 설계되었습니다. KLA 6200 Surfscan은 고해상도 이미지 처리 알고리즘으로 인해 5 마이크로 미터 해상도의 웨이퍼 (wafer) 기능 이미지를 캡처 할 수있는 강력하고 정밀도가 높은 5 메가 픽셀 CCD 이미징 센서를 갖추고 있습니다. 대형 9.1 인치 뷰는 높은 연구 및 생산 처리량을 지원하도록 설계되었습니다. 이 장치는 웨이퍼 특성에서 결함 및 공정 유발 변형을 감지할 뿐만 아니라, 잠재적 인 랜덤 (random) 및 체계적인 제품 수율 손실을 식별하는 데 도움이됩니다. TENCOR 6200 Surfscan은 프로세스 레시피 (Recipe) 및 저장된 측정의 데이터베이스 (Database of Process Recipe) 를 포함하여 고급 프로세스 특성화 및 데이터 처리 기능을 갖추고 있습니다. 이 기계의 고급 도량형 제품군에는 산란 측량, 표면 거칠기, 필름 두께 (film thickness) 와 같은 다양한 프로세스 특성 도구 및 응력 분석, 에지 (edge) 및 프로파일 리프트 오프와 같은 고급 기술을 갖춘 3D 측정 플랫폼이 포함되어 있습니다. PROMETRIX 6200 Surfscan은 정확한 구성에 따라 4 "~ 12" 의 다양한 웨이퍼 크기를 지원합니다. 자동 웨이퍼 처리 (Automated Wafer Handling), 처리량 최적화, 작은 결함 감지를 위한 자동 광학 검사 도구 (Optical Inspection Tool) 등의 옵션 기능이 제공됩니다. 이 자산에는 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 프로세스 메트릭을 모니터링하고 로트 (lot) 간의 결함, 변형 및 변형에 대한 데이터를 얻기 위한 포괄적인 보고 소프트웨어가 함께 제공됩니다. 6200 Surfscan은 연구 및 생산 환경에서 고정밀 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 비용 효율적인 솔루션입니다. KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan은 고급 도량형 기능과 직관적 인 설계를 통해 웨이퍼 테스트 및 도량형을 최대한 활용하는 효율적이고 정확한 방법을 제공합니다.