판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9262110

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan은 반도체 제조업체의 요구를 충족시키기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 효율적인 웨이퍼 테스트 및 분석을 위해 고급 기능과 향상된 처리량을 제공합니다. 이 장치는 고해상도 프로파일러 이미징 머신과 컨투어 스캔 (Contour Scan) 1250 좌표 측정 스테이션으로 구성됩니다. 프로파일러 도구는 단면 및 양면 웨이퍼의 기능을 측정할 수 있으며, 해상도는 최대 0.25 미크론입니다. 컨투어 스캔 1250 스테이션은 최대 1 미크론의 해상도를 측정 할 수 있습니다. 이 자산은 고급 표면 기능 인식 및 고속 데이터 획득을 특징으로합니다. 기존의 웨이퍼 검사 (Wafer Inspection) 기술에 비해 더 빠르고 정확도가 높은 표면 기능을 측정 할 수 있습니다. 이 모델은 또한 여러 센서와 자동 데이터 분석을 활용하여 향상된 웨이퍼 처리량 (wafer throughput) 및 검사 속도를 제공합니다. 제조 프로세스 이상 (fabrication process anomalies) 에서 어디에서 발생할 수 있는지 결정하기 위해 피쳐 추세를 해석하는 기능도 있습니다. 이 장비에는 게이트의 동시 분석, 활성 영역 및 동일한 웨이퍼에 대한 경계에 대한 다양한 사용자 정의 분석 도구 (예: Varian Well Connected) 가 있습니다. 이 시스템에는 "웨이퍼 매핑 (wafer mapping) '기능이 장착되어 있어 자동화된 결함 감지 (defect detection) 뿐만 아니라 장치 구조에 대한 프로세스 유발 변경 사항을 추적합니다. 이 장치는 수동 및 자동 작동을 모두 지원하여 유연성을 극대화합니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 다양한 분석 작업을 빠르고 쉽게 수행할 수 있습니다. 또한, 시스템은 다른 프로세스 제어 시스템과의 통합을 지원하여 무중단 운영을 보장합니다. KLA 6200 Surfscan (CLA 6200 Surfscan) 은 속도 또는 처리량을 손상시키지 않고 정확한 웨이퍼 테스트 및 분석이 필요한 반도체 제조업체에 이상적인 도구입니다. 고급 기능 인식, 고속 데이터 획득, 프로세스 모니터링, 자동 결함 감지 (Automated Defect Detection) 기능을 통해 생산성을 높이고 생산성을 높이는 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다.