판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9249954

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan은 반도체 웨이퍼의 물리적 및 기하학적 특성을 고해상도 이미징 및 자동 측정하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 고급 광학 (optical) 및 이미징 (imaging) 기술을 사용하여 웨이퍼 표면의 정확히 측정 된 지형 이미지를 얻습니다. 나노 스케일 (nano-scale) 및 마이크로 스케일 (micro-scale) 기능을 모두 측정 할 수 있으며, 웨이퍼 제작시 광범위한 측정 기능이 사용되어 수율에 영향을 미치는 프로세스 및 표면 문제를 정확히 파악할 수 있습니다. KLA 6200 Surfscan 장치는 자동 샘플 로드 및 언로드, 이미지 선명도 향상을 위한 다중 단계 수정, 사용이 간편한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 갖추고 있습니다. 또한 넓은 영역, 수량화 가능한 측정, 장치 대 장치 균일성 및 데이터 추적 성능에 대한 광범위한 이미지 처리 기능을 제공합니다. TENCOR 6200 Surfscan은 100 nm 피치 나노 구조의 작은 장치와 작동하도록 설계되었으며 최대 1000 미크론 (micron) 의 필드를 측정 할 수있는 최적화 된 광학 측정 엔진을 갖추고 있습니다. 동적 표면 이미징 (dynamic surface imaging) 과 측정 결과 (measurements) 는 연구자와 엔지니어들이 웨이퍼 성능을 예측하고 프로세스 문제를 결정하는 데 사용할 수있는 매우 정확한 결과를 제공합니다. 이 기계는 또한 도량형 워크 벤치 (metrology workbench) 를 특징으로하여 빠르고 반복 가능하며 통계적으로 의미있는 측정이 가능합니다. 이 도량형 워크벤치에는 임계 치수 (CD) 측정, LER (Line Edge Roughness), LER (Local Edge Roughness), 에지 스캔용 360도 조명 및 프로파일 측정과 같은 사용자가 선택할 수 있는 측정 기능의 배열이 포함됩니다. PROMETRIX 6200 Surfscan 도구는 자동 검사를 통해 프로세스 문제 및 불일치를 신속하게 식별할 수 있습니다. 자동 검사에서는 마이크로포어 (micropore), 거품 (bubble), 스트레이션 (striation) 과 같은 다양한 알고리즘을 적용하여 표면 결함을 감지합니다. 또한 사용자가 현장에서 결함을 시각화 할 수있는 고급 결함 검토 (Advanced Defect Review) 제품군을 제공합니다. 6200 Surfscan 자산은 신뢰할 수 있고 다양한 기계로, 웨이퍼 테스트 및 도량형 작업을 개선하는 다양한 기능을 제공합니다. 자동화된 웨이퍼 처리 (wafer handling), 고해상도 이미징 (high resolution imaging) 및 종합적인 측정 기능을 통해 웨이퍼 제조 프로세스의 모니터링을 향상시켜 생산량을 높이고 생산량을 늘릴 수 있습니다.