판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9248731

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan은 대용량 반도체 제조를 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 완전 자동화 된 고속 웨이퍼 스캐너로 시간당 최대 100 6 인치 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. KLA 6200 Surfscan 시스템은 고급 웨이퍼 스캔, 비 접촉 결함 검사, 자동 초점 및 고급 2D/3D 도량형 기술을 결합합니다. 스캐너는 업계 표준 프로세스 도량형 기술을 사용하여 수많은 웨이퍼 표면에서 데이터를 수집합니다. 2D/3D 광학 도량형 (optical metrology) 기술은 웨이퍼 표면에 걸쳐 상세한 지형 측정을 추출 할 수있는 반면, 비접촉 검사 장치는 전기 결함과 물리적 결함을 정확하게 감지하고 분류 할 수 있습니다. TENCOR 6200 Surfscan 머신은 또한 데이터 수집, 저장, 분석 및 후처리 응용 프로그램을 제공합니다. 이렇게 하면 여러 형태 의 결함 에 대한 보고 와 더불어, 표면 의 측정 을 신속 히 시각화 할 수 있다. 그렇다. 또한, 이 도구는 자산 설정 정보를 자동으로 관리하고, 검토할 수 있는 표준 운영 절차를 제공합니다. 이 모델은 종합적이고 사용이 간편한 운영자 인터페이스 (Operator Interface) 를 통해 빠르고 효율적인 샘플 설정 및 데이터 입수를 지원합니다. 이 장비에는 QA (내장 QA) 시스템도 내장되어 있는데, 이 시스템은 추적 기능을 제공하며, 데이터를 수신한 그대로 검토하고 분석할 수 있습니다. PROMETRIX 6200 Surfscan 장치는 반도체 제조업체가 가장 까다로운 프로세스 제어 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 이 기계의 유연성과 고급 (advanced) 기능은 반도체 업계에 최고 수준의 웨이퍼 (wafer) 품질과 프로세스 제어를 제공하는 이상적인 도구입니다.