판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9245958
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KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan은 반도체 제조업체에 서비스를 제공하기 위해 개발 된 중요한 차원 및 필름 두께 도량형 도구입니다. 이 장비는 최대 100Hz, 최대 6kHz 동적 스캔을 위한 3축 스캐너를 적용합니다. 평면, 곡선, 스텝, 스텝 인 등 모든 표면에서 임계 및 편평성을 측정 할 수 있으므로 웨이퍼, 웨이퍼 레벨 패키지 및 박막 기판의 3 차원 도량형에 이상적입니다. KLA 6200 Surfscan 시스템은 0.1 미크론의 해상도로 0-32 미크론의 넓은 측정 범위를 가지므로 정확하고 정확한 측정에 적합합니다. 또한 3축 스캐너 (Three-axis scanner) 는 스캐너 3 축 모두에서 높은 반복성을 보장하며 위치 측정에서 높은 수준의 반복성을 보장하여 일관된 측정을 제공합니다. 3축 스캐너 설계를 통해 TENCOR 6200 Surfscan 장치는 스텝인 서피스와 같은 정교한 형상을 효과적으로 측정 할 수 있습니다. 또한 직관적이고 사용자에게 친숙한 GUI (Graphical User Interface) 를 제공하며, 다양한 기능을 통해 운영 및 분석을 용이하게 합니다. 또한 자동 표면 측정, 기기 기울기, 스터브 샘플링 및 검출기 오프셋 (detector offset) 과 같은 효과에 대한 수정, 자동 표면 측정을 허용하는 통합 독점 알고리즘이 있습니다. 또한, 프로세스 또는 제품의 변경 사항을 정확하게 측정하기 위해 언제든지 6200 개의 Surfscan 도구를 보정할 수 있습니다. PROMETRIX 6200 Surfscan 자산에는 반도체 웨이퍼 테스트 및 도량형 (metrology) 을 위해 특별히 설계된 포괄적인 소프트웨어 툴도 있습니다. 이러한 도구를 사용하면 각기 다른 재료, 장치, 응용 프로그램에 대한 다양한 매개변수 (parameter) 를 분석, 특성화할 수 있습니다. 가장 중요한 도구 중 하나는 Critical Dimension Software입니다. Critical Dimension Software는 중요한 치수를 해당 몰드 다이 (mold die) 와 측정 및 비교할 수 있으며 시간이 지남에 따라 중요한 치수 변경을 분석할 수 있습니다. 전반적으로 KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan 모델은 웨이퍼 테스트 및 도량형 프로세스의 효율성과 정확성을 높이려는 반도체 제조업체에 이상적인 솔루션입니다. 높은 측정 범위 (high measurement range), 높은 반복성 (high repeatability), 직관적인 사용자 인터페이스 등 다양한 기능을 통해 이러한 제조업체를 위한 강력하고 포괄적이며 신뢰할 수 있는 솔루션이 될 수 있습니다. 또한 소프트웨어 제품군 (Software Suite) 은 서로 다른 매개변수와 애플리케이션에 대한 포괄적인 분석을 보장하며, 결국 사용자가 중요한 차원의 변경 사항을 자신있게 분석하고, 성공적이고 정확한 웨이퍼 테스트 및 도량형 프로세스를 보장할 수 있는 이상적인 툴을 제공합니다.
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