판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9245004
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ID: 9245004
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1992
Inspection system, 8"
Capable of 6"
Laser has been replaced
1992 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan은 반도체 웨이퍼 검사에 사용되는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 독점적 인 고해상도 광학 (optic) 과 이미지 처리 알고리즘을 사용하여 웨이퍼 제작 중 결함을 감지, 측정, 분석하고 중요한 패턴을 산출하도록 설계되었습니다. KLA 6200 Surfscan은 Top End Station과 2 개의 1 차 시스템 (이미지 획득 및 분석 시스템) 과 결함 검토 장치로 구성됩니다. 이미지 획득 및 분석 머신은 효과적인 이미징 워크플로우 (Imaging Workflow) 와 이미지 전달 (Image Delivery) 을 보장하며, 결함 검토 도구는 패턴 데이터를 정확하게 평가, 분류하고 결함을 감지할 수 있습니다. TENCOR 6200 Surfscan은 패턴 형 웨이퍼 검사를위한 최적의 플랫폼을 갖추고 있습니다. 광학 (optical) 및 접촉 (Contact) 표면 검사 기능과 고급 결함 검토 및 자동 결함 분류를 모두 제공합니다. 에셋은 또한 최대 8 인치 크기 또는 9 인치 정사각형의 웨이퍼를 패턴화할 수 있으며, 신호 대 잡음비 (signal-to-noise ratio) 를 최적화하여 정밀도를 극대화하고 진동 및 온도 변동을 최소화합니다. PROMETRIX 6200 Surfscan은 또한 빠른 처리 시간 동안 검사 프로세스를 가속화하는 자동 웨이퍼 추적을 제공합니다. AED (Auto-Edge-Detect), 자동 초점 (auto-focus) 및 CMOS 이미징 기술 최신과 같은 고급 감지 알고리즘을 사용하면 가장 어렵고 작은 결함까지도 감지할 수 있습니다. 또한 입자 픽업 카운터 (particle pickup counter) 가 있으며, 칩당 입자 수를 정확하게 계산할 수 있으므로 수동 카운팅이 필요하지 않습니다. 6200 Surfscan에는 거의 모든 검사 요건을 충족하기 위해 다양한 교환 가능한 렌즈가 포함되어 있습니다. 전체 웨이퍼 스캔 (full-wafer scan) 및 스팟 스캔 (spot-scan) 기술 옵션을 제공하여 검사 시간을 줄입니다. 이 모델에는 이미지 장비 (Image Equipment) 를 신속하게 조정하고 여러 형식으로 웨이퍼를 검사할 수 있는 보정 기능이 내장되어 있습니다. KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan은 생산 중 반도체 웨이퍼의 검사 및 도량형을위한 귀중한 도구입니다. 일관성 있는 성능을 보장하며 운영 용이성으로 탁월한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 제품은 혁신적인 기능과 첨단 기술 (Advanced Technologies) 로, 엄격한 웨이퍼 검사 요구 사항이 있는 운영 환경에 이상적인 선택입니다.
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