판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9234557
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ID: 9234557
웨이퍼 크기: 4"-8"
Automatic surface inspection system, 4"-8"
Sub-micron sensitivity defects: 0.10 Micron particles
Color codes defect maps, histograms & other graphics
Instantaneous magnified 3-D views of individual defects
Surface haze detection
Laser type wavelength: Argon 488 30 mW
Particle sensitivity: 0.10 um at 95%
Measurement range: 0.09-9999 um
Haze sensitivity resolution: 0.05 ppm
Repeatability: 0.5% at 1 standard deviation
Throughput: 150 wph on 6" wafer.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan은 다양한 특수 웨이퍼 응용 프로그램에서 정밀 결과를 제공하기 위해 설계된 고성능 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. KLA 6200 Surfscan은 레이저 구성 기술을 사용하여 집적 회로 웨이퍼의 물리적 특성, 특히 두께, 거칠기, 질감 측면에서 매우 정확한 측정을 제공합니다. TENCOR 6200 Surfscan 시스템에는 2 개의 고해상도 컬러 카메라가 장착되어 있어, 운용자가 테스트 중인 웨이퍼를 모니터링할 수 있으며, 또한 전체 웨이퍼 표면에서 불균일 성을 감지하고 측정 할 수 있습니다. 6200 Surfscan은 또한 높은 정밀도로 비 IC 웨이퍼 (예: 광학 또는 마이크로 전자 기계 시스템) 의 표면 특성을 측정 할 수 있습니다. PROMETRIX 6200 Surfscan 머신에는 이중 단계, 자동 스캐닝 헤드 (scanning head) 가 있어 처리량이 높은 샘플 준비를 수행하고 모든 수준의 속도로 정확한 측정이 가능합니다. 이 도구는 시간당 최대 800 개의 샘플을 스캔할 수 있도록 설계되었으며, 최대 스캔 속도는 초당 20 인치입니다. KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan은 자동 교정, 대기 시간 보상, 현장 매핑, 통합 컨디셔닝 등 다양한 고급 기능을 제공하여 신뢰할 수 있는 자산입니다. KLA 6200 Surfscan의 소프트웨어 제품군에는 areal 및 line profiling, 피크/밸리 측정, 그레인 진폭/방향 분석 및 자동 제어/자동 플로팅 기능을 포함한 고급 데이터 분석 방법이 포함됩니다. 또한, 소프트웨어는 오염 모니터링 기능을 제공하여 웨이퍼 (wafer) 표면에 존재하는 오염 물질 수준에 대한 실시간 피드백을 제공합니다. 또한 TENCOR 6200 Surfscan (Surfscan) 은 포괄적인 진단 기능을 제공하므로, 발생할 수 있는 모든 모델 오류를 빠르고 효율적으로 해결할 수 있습니다. 마지막으로, 이 장비는 탁월한 고객 지원 (Customer Support) 의 지원을 받으며, 고객의 시스템 활용도를 높일 수 있도록 지침 및 조언을 제공합니다. 6200 Surfscan은 강력하고 신뢰할 수있는 시스템으로, 웨이퍼 (wafer) 생산을위한 샘플을 검사하는 데 가장 높은 정확도를 제공합니다. 핵심 애플리케이션 (Critical Application) 의 물리적 특성을 측정하기 위해 포괄적이고 신뢰할 수 있는 솔루션을 찾는 사람들에게 이상적인 솔루션입니다.
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