판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9216650
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ID: 9216650
웨이퍼 크기: 4"-8"
빈티지: 1994
Particle counter, 4"-8"
Non-patterned surface inspection system
OS: Windows
Defect sensitivity (PSL STD): 0.1 Micron
Haze sensitivity: 0.02 ppm
Haze resolution: 0.002 ppm
Accuracy: 1%
XY Co-ordinates
Lock down accessories
KLA / TENCOR Blower assembly
Manuals included
Power requirements: 208 V, 60 Hz, 17 A
1994 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan은 다양한 기판에서 복잡한 표면 및 구조의 고정밀 측정을 제공하기 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 특허를 받은 도량형 아키텍처, 고급 자동화 소프트웨어, 특수 광학을 통합하여 파퍼 (wafer) 구조를 측정하는 전례없는 기능을 제공합니다. KLA 6200 Surfscan에는 통합 MultiGene (tm) optics 장치가 장착되어 있으며, 이는 전체 웨이퍼를 동시에, 빠른 속도로 정확하게 스캔하여 처리량이 많은 애플리케이션에 적합합니다. 이 기계는 가시광선 및 적외선 광선 감지 시스템을 모두 포함하므로 불투명, 투명, 비반사 표면을 정확하게 측정 할 수 있습니다. TENCOR 6200 Surfscan은 특허받은 Encore ™ 워크플로우 자동화 소프트웨어를 사용하여 완전히 자동화된 기판 로딩, 스캔 및 분석을 제공합니다. 사용자 친화적 인 소프트웨어는 스크립팅도 지원하므로, 사용자 고유의 사용자 지정 테스트 (custom testing) 및 도량형 알고리즘을 개발할 수 있습니다. 또한 자동화된 결함 감지 (Automated Defect Detection) 및 감지 (Sensing) 기능을 지원하며, 이를 통해 임의의 사용자정의 기준을 사용하여 결함을 감지하고 분류할 수 있습니다. PROMETRIX 6200 Surfscan은 또한 자산의 통합 분류 알고리즘을 사용하여 클린 (clean) 및 결함 (defective) 웨이퍼 구조를 분리하는 데 사용할 수있는 자동 웨이퍼 정렬 도구를 제공합니다. 6200 Surfscan은 도량형 분석의 정확성과 정확성을 보장하도록 설계된 하드웨어, 소프트웨어와 함께 사용 가능한 최고 해상도의 이미징을 결합합니다. 이 모델에는 내장형 10K 픽셀 해상도 센서가 장착되어 있으며, 표면 거칠기를 1 Angstrom까지 측정 할 수 있습니다. 또한, 장비는 자동화되고, 매우 빠르며, 다양한 샘플 크기를 지원하므로, 매우 다양합니다. KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan은 고유한 기능 외에도 안정성이 높고 경제적입니다. 이 시스템은 유지 보수 (maintenance-free) 방식으로 설계되어 다운타임을 최소화하면서 성능 사양을 일관되게 충족하거나 초과할 수 있습니다. 또한, 이 장치는 경쟁력 있는 가격으로, 산업 및 연구 애플리케이션에 비용 효율적입니다. 전반적으로 KLA 6200 Surfscan 머신은 매우 다양하고 비용 효율적인 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 솔루션입니다. TENCOR 6200 Surfscan은 포괄적인 자동화 기능, 고도의 정밀 해상도, 효율적인 워크플로우 자동화, 경쟁력 가격 등을 갖추고 있어 까다로운 산업 및 연구 환경에 이상적인 툴입니다.
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