판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9203832
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KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan은 고급 측정 품질과 균일성을 보장하도록 특별히 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 저-k 및 고-k 유전체를 모니터링 및 분석하는 기능을 제공하며, 샘플 크기의 변화를 수용 할 수 있습니다. 이 제품은 인라인 (In-Line) 프로세스 제어를 위해 설계되었으며, 온보드 (On-board) 방식의 Dicing 기능과 크리티컬 레이어의 통합 분석을 갖추고 있습니다. KLA 6200 Surfscan은 wafer stage, wafer chuck, vacuum chuck 및 vision unit을 포함한 여러 구성 요소로 구성됩니다. 웨이퍼 스테이지 (wafer stage) 와 웨이퍼 척 (wafer chuck) 은 웨이퍼 서피스를 정확하게 측정하고 분석하는 데 필요한 제어 서피스 동작을 제공합니다. 진공 척 (vacuum chuck) 은 높은 수준의 샘플 격리를 가능하게하여 측정 중에 교차 오염이 발생하지 않습니다. 비전 머신 (vision machine) 에는 고해상도 표시등과 카메라가 장착되어 있어 샘플 표면의 기능과 결함을 정확하게 파악할 수 있습니다. 높은 처리량과 반복성을 자랑하는 TENCOR 6200 서프스캔 (Surfscan) 은 탁월한 속도와 성능을 제공하여 사용자가 최단 시간 내에 생산량을 극대화하고 웨이퍼를 분석할 수 있도록 합니다. 매우 정교한 도구는 매끄러움과 거칠기에 대한 레벨 스캔 (level scan) 측정을 제공하여 랩핑 (lapping) 및 클리닝 (cleaning) 프로세스의 로컬 및 글로벌 효과를 모두 볼 수 있습니다. 6200 Surfscan (Surfscan) 은 또한 모든 자동 테스트 기능을 갖추고 있으며, 프로세스 자동화 및 잠재적 인 인간 오류 제거 기능을 제공합니다. 또한 PROMETRIX 6200 Surfscan은 다양한 크기 샘플과 다양한 재료를 측정 할 수있는 고급 유연성을 제공합니다. 에셋은 또한 사용하기 쉬운 터치스크린 인터페이스 (touchscreen interface) 를 통해 다양한 구성 및 설정에 편리하게 액세스할 수 있습니다. KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan은 사용자 편의를 위해 3D 및 고급 응용 프로그램 프로그래밍도 모두 지원합니다. 전반적으로 KLA 6200 Surfscan은 프로세스 제어 및 자동화를 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델입니다. 이 장비는 안정적이고, 반복 가능하며, 유연하며, 환상적인 처리량을 제공하며, 생산성을 극대화하고, 잠재적 오류를 제거할 수 있습니다.
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