판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9159142

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan은 현미경 돌출 (또는 단계) 및 DUT (Device Under Test) 와 같은 표면 기능을 측정하고 분석하기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 샘플링 속도 최대 10kHz, 빔 스팟 크기 (Beam spot size) 10 äm 및 해상도 최대 1 äm를 특징으로합니다. 이 장치는 3 가지 주요 구성 요소로 구성되어 있습니다. 광학, 전자 및 역학이 장착 된 Scan Head; 측정 엔진; 분석 사용자 인터페이스입니다. 스캔 헤드 (Scan Head) 는 도량형 데이터 수집 및 생성을 담당하며, DUT 웨이퍼를 스캔하기 위해 레이저 다이오드가 장착됩니다. 레이저의 빛이 초점을 맞춘 다음 다시 스캔 헤드 (Scan Head) 로 반사되어 DUT의 표면 지형 이미지를 생성합니다. 이 이미지는 측정 엔진 (measurement engine) 에 의해 처리됩니다. 이 엔진은 이미지 데이터를 가져오고 필터링 및 최적화 알고리즘을 수행합니다. 그러면 분석 사용자 인터페이스 (analysis user interface) 에 데이터가 업로드됩니다. 이 인터페이스는 스캔 프로파일과 처리된 데이터를 보는 데 사용됩니다. 스텝 높이, 피트 크기, 서피스 거칠기, 표현되지 않은 피쳐와 같은 매개변수는 스캔 프로파일에서 추출할 수 있습니다. 또한, 기계에는 표면 분석 및 코드 기반 최적화 알고리즘의 통합을 기반으로하는 "SmartScan" 기술이 장착되어 있습니다. 이 기술은 수율을 최적화하고 비용이 많이 드는 패라메트릭 (parametric) 측정의 필요성을 줄이는 툴의 기능을 향상시킵니다. 또한 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface, GUI) 는 자산 운용을 돕고 데이터를 보고 분석하는 데 도움이 됩니다. 결론적으로, KLA 6200 Surfscan은 안정적이고 효율적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델로, 고속 방식으로 높은 정확도를 제공합니다. "스마트 스캔 (SmartScan)" 기술, 그래픽 사용자 인터페이스, 스캐닝 속도 등의 기능을 통해 기판의 미세한 기능과 결함을 파악할 수 있습니다.