판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9078060

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan은 반도체 장치를 분석하는 데 사용되는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. KLA 6200 Surfscan은 표면 마무리, 두께, 편평 및 도펀트 농도와 같은 복잡한 나노 미터 스케일 구조에 대한 다양한 매개 변수를 측정하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 지형, 프로파일, 기울기 조사와 같은 다차원 도량형을 수행 할 수 있습니다. TENCOR 6200 Surfscan에는 완전 자동화 된 고해상도 XY 스캐너가 장착되어 있습니다. 이는 코너 큐브 (corner cube), 테스트 구조 (topographical features) 와 같은 구조로부터 왜곡이 존재하는 경우에도 정확하고 정확한 측정을 제공합니다. 검색 폭과 속도를 조정하면 전체 필드 (full-field) 측정에서 현지화된 스캐닝 (localized scanning) 에 이르는 모든 측정 작업을 수행할 수 있습니다. 샘플은 스캐너 스테이지 (scanner stage) 에 직접 배치하여 간단한 설정을 수행하거나 척 (chuck) 에 장착하여 보다 복잡한 측정을 할 수 있습니다. 이 장치는 최대 200mm의 기판을 수용 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 샘플 방향을 조정하면서 나노미터 범위의 각도 (angle) 와 기울기 (tilt) 값을 정확하게 측정하기 위해 2축 기울기 (tilt) 및 회전 단계 (rotary stage) 를 갖추고 있습니다. 사용자 정의 가능한 해상도를 가진 CCD 이미지 센서는 웨이퍼 (wafer) 표면에서 구조의 고대비 이미징을 허용하며, 이 이미징을 사용하여 활성화 (activation), 형상 (geometry) 및 기타 매개변수의 임계값을 확인할 수 있습니다. 6200 Surfscan은 고급 분석 기능도 제공합니다. 고해상도 이미징 (high-resolution imaging) 및 도량형 측정 (metrology measurements) 을 통해 공정 이동을 감지하고 반복 가능성을 측정하고 결함을 식별하고 통합 수율을 분석하는 데 사용할 수 있습니다. PROMETRIX 6200 Surfscan은 Windows 기반이며, 운영, 테스트, 소프트웨어 환경에 통합되어 처리량 및 신뢰성을 높일 수 있습니다. KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan 웨이퍼 테스트 및 도량형 자산은 고급 생산 환경을 위한 고품질의 자동 웨이퍼 측정을 제공합니다. 고급 분석 기능과 더불어 고도의 정확도 스캐닝 (scanning) 및 이미징 (imaging) 기능을 통해 정확한 측정 및 향상된 수율 제어 기능을 제공합니다. 이 모델의 유연성과 정밀성은 프로세스 매개변수 (process parameter) 에 대한 빠르고 정확한 피드백 (feedback) 을 가능하게 합니다.