판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9078054

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan은 반도체 산업의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계된 고성능 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 서피스 스캔 6200 (Surfscan 6200) 은 서피스 평면도, 임계 치수, 오버레이 등록 및 피쳐 크기를 포함하여 모든 중요한 웨이퍼 매개변수를 정확하게 측정할 수 있습니다. 이 시스템의 핵심은 수상 경력에 빛나는 독점 OpticsairTM 센서로서, 시장에서 다른 유사 시스템보다 뛰어난 감도와 빠른 동적 범위 (dynamic range) 를 제공합니다. 독특한 속이 빈 막대 광학 디자인 (optical design) 으로 진동을 줄이고 소음 바닥을 크게 줄여 샘플링 정확도를 향상시킵니다. OpticsairTM 센서는 모든 형태의 표면 결함 (surface defect) 을 측정할 수 있으며, 피쳐 크기와 모양을 특성화할 수 있습니다. 6200은 고급 매핑 및 직렬 패턴 기능을 갖춘 IMP (Imaging & Measurement Processor), 정확한 CD 측정을 위한 최첨단 Accu-Centric 측정 헤드, 자동 웨이퍼 추적 모듈 (전체 직렬 위치 제어) 등 다양한 성능 향상 옵션을 제공합니다. 또한 6200 은 최대 4 개의 독립적인 웨이퍼 스테이지 (wafer stage) 를 통합할 수 있는 기능을 제공하여 다양한 웨이퍼 크기를 측정할 때 높은 수준의 유연성을 제공합니다. Surfscan 6200은 체계적인 장애 인식, 분석 및 복구를 위해 다른 장비 (예: SPC 시스템 및 자동 처리기) 와 연결될 수도 있습니다. 표준 웨이퍼 테스트 기능 외에도 6200 은 프로세스 제어를 위한 고급 성능 타겟팅 (performance targeting), 향상된 성능 모니터링을 위한 APC (Automated Processing Control) 모듈을 제공하며, 도량형 및 분석 툴과 통합될 수 있습니다. 요약하면, KLA 6200 Surfscan은 탁월한 속도, 정확성 및 유연성을 제공하는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 출시 기간 단축, 프로세스 일관성 향상, 웨이퍼 비용 절감을 추구하는 반도체 제조업체에 적합합니다.