판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9045526

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan은 웨이퍼 및 기판의 도량형 및 테스트를 위해 설계된 고급적이고 신뢰할 수있는 장비입니다. Wafer Testing 및 Metrology 애플리케이션에서 정확성, 효율성, 유연성을 보장하는 다양한 기술을 갖추고 있습니다. 이 시스템에는 직경이 최대 200mm 인 웨이퍼를 처리 할 수있는 6 축 로봇이 장착되어 있습니다. "로봇 '은 회전 의 중심 을 조정 하고" 웨이퍼' 를 5 ° 이내 로 방향 을 정하고 기울기 의 각도 를 조정 하여 매우 정확 하고 일관성 있는 "웨이퍼 '조작 을 할 수 있다. 이를 통해 웨이퍼 테스트 및 도량형 프로세스에서 더 많은 정확성을 얻을 수 있습니다. 이 장치에는 또한 디지털 정렬 기계 (digital alignment machine) 를 포함한 여러 센서가 장착되어 있어 공구의 정확성과 반복성을 보장합니다. 이 자산은 측정 과정에서 오차 또는 부정확성이 발생할 가능성을 방지합니다. 이 모델은 또한 고해상도 스캐너 (Scanner) 와 조명 장비 (Lighting Equipment) 를 갖추고 있어 측정하기 어려운 범프 (Bump) 나 라인 (Line) 과 같이 작거나 매우 상세한 기능을 이미징할 수 있습니다. 이미징 (Imaging) 은 또한 여러 이미지를 다른 각도에서 캡처할 수 있으며, 이는 검사 대상 샘플의 깊이와 크기를 측정하는 데 도움이 될 수 있습니다. 또한, 이 시스템에는 데이터 측정, 분석, 검증 등의 다양한 웨이퍼 (wafer) 테스트 및 도량형 기능을 제어 할 수있는 소프트웨어 제품군이 포함되어 있습니다. 또한 소프트웨어 제품군을 사용하면 고유한 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 (metrology) 애플리케이션에 대한 특정 요구를 충족할 수 있습니다. 이를 통해 시스템 내에서 더 큰 정확성과 반복 성을 얻을 수 있습니다. 또한, 이 도구는 다양한 열 기술을 통해 자산 내에서 열 제어 (thermal control) 와 안정성 (stability) 을 제공합니다. 이렇게 하면 "웨이퍼 '를 일관성 있는 온도 범위 내 에 유지 하는 데 도움 이 되며, 이것 은 공정 중 에 정확 한 결과 를 보장 하는 데 도움 이 된다. KLA 6200 Surfscan (KLA 6200 Surfscan) 은 매우 안정적이고 정확한 모델로, 웨이퍼 테스트 및 도량형 애플리케이션에서 장비를 사용할 때 사용자에게 뛰어난 정확성과 반복성을 제공하도록 설계되었습니다. 그 기능은 사용자에게 그들의 결과가 정확하고, 정확하고, 일관성이 있다는 것을 알 수있는 편안함을 제공합니다.