판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #293622692

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan은 2D 및 3D 웨이퍼 검사 및 도량형을 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 다목적 시스템은 웨이퍼 코팅, etch 및 CMP와 같은 다양한 반도체 프로세스 단계에 사용될 수 있습니다. 이 장치는 다양한 배율로 웨이퍼 표면의 자세한 이미지를 제공하기 위해 프로브 (Probe) 와 카메라 (Camera) 세트로 구성됩니다. KLA 6200 Surfscan의 주요 기능에는 자동 이미지 분석, SPC (Statistical Process Control) 기능 및 웨이퍼 상태를 빠르고 효과적으로 평가할 수있는 온보드 측정 소프트웨어가 포함됩니다. 기계는 최대 300mm 크기의 대형 웨이퍼를 스캔하고 측정 할 수도 있습니다. 이 강력한 도구는 다양한 결함 레이어를 해결할 수 있으며, 이미지 처리 기술은 뛰어난 선/공간 측정, 결함 매핑, 오버레이 제어를 제공합니다. 이 자산은 웨이퍼 레벨 테스트 (wafer level testing), 프로세스 제어 (process control), 데이터 분석 (data analysis) 과 함께 고객의 요구 사항을 충족하는 높은 수준의 구성 기능을 제공합니다. 강력한 FID (Flexible Image Detection) 소프트웨어는 웨이퍼 결함의 정교한 자동 측정 및 분류를 제공합니다. FID를 사용하면 Surfscan 6200에서 결함을 인식, 측정 및 분류할 수 있으며, 이는 처리 시간을 크게 줄이고 수율을 늘릴 수 있습니다. 이 모델은 수동 (manual) 및 자동 (automated) 작업을 모두 수행할 수 있으며 높은 수준의 정확성, 신뢰성 및 반복성을 제공합니다. TENCOR 6200 Surfscan은 웨이퍼 검사, 도량형 및 프로세스 모니터링을위한 다용도 및 강력한 도구입니다. 자동화된 측정 및 분석 기능으로 인해 많은 반도체 제조 작업에 적합합니다. 이 장비는 품질 보증 (Quality Assurance) 및 생산 최적화 (Production Optimization) 와 관련하여 귀중한 자산입니다.