판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #293621540
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KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan은 종합적인 테스트 기능과 높은 정확도를 제공하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 사용자에게 중요한 데이터를 제공하도록 설계되었는데, 이 데이터는 제품 성능을 최적화하고 수익률 손실을 최소화하는 데 사용됩니다. KLA 6200 Surfscan 장치는 특허를받은 공동 정렬, 이중 레이저 기계 및 우수한 광학으로 우수한 성능을 자랑하며, 다양한 다이 크기, 피치 크기 및 방향에 걸쳐 5 미크론 내에서 정확한 우수한 웨이퍼 정렬, 축 및 방사형 측정값을 제공합니다. 이 도구는 초당 400 개 이상의 전체 필드 측정도 수행 할 수 있습니다. 에셋은 EikonixPegasus metrology control 소프트웨어를 통해 강력한 프로세스 제어를 제공하며, 이를 통해 사용자는 특정 매개변수를 설정하고 포괄적인 필드, 선형, 1D 및 프로파일 측정을 수행 할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 또한 고급 프로세스 기능 및 항복 분석을 위한 강력한 분석 도구를 제공합니다. TENCOR 6200 Surfscan 모델은 가장 까다로운 프로세스 및 어플리케이션의 요구를 충족하는 다양한 wafer Probing 기능을 제공합니다. 벡터 검사 (vector probing) 및 다이 인식 (die recognition) 기능을 통해 결함 감지 개선, 수율 분석 향상 및 데이터 분석 가속화가 가능합니다. 이 장치는 또한 추가 정렬 시간 없이 초당 최대 2000 필드의 최대 (100mm) 민감도를 가진 업계 최고의 측정 처리량을 제공하며, 고전압 및 저전압, HSOT 및 E-Beam을 포함한 전체 OPC 측정 제품군을 제공합니다. 이 장비는 또한 3D Critical Dimension (3DCMAD) 측정을 제공하며, 이는 회절 한도 이하의 금속성 필름 및 기능 이미징을 측정 할 수있는 기술입니다. 6200 Surfscan은 최대 측정 속도가 초당 1 필드이며 ISO 및 SEMI를 준수합니다. 요약하면, PROMETRIX 6200 Surfscan 시스템은 사용자에게 강력한 프로세스 제어 및 빠르고 정확한 측정을 제공하는 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장치입니다. 첨단 기술과 광범위한 프로빙 (Probing) 기능을 통해 다양한 반도체 테스트 어플리케이션에서 사용할 수 있습니다.
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