판매용 중고 KLA / TENCOR PHX DF 5.0 #293660076

KLA PHX DF 5.0은 반도체 제조에서 충실도가 높은 결과를 제공하기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 시장에서 사용 가능한 최고 수준의 해상도와 정확도를 제공하도록 설계되었습니다 (영문). TENCOR PHX DF 5.0은 멀티 카메라 이미징 아키텍처를 사용합니다. 이 복합 이미징 장치는 고속 카메라와 민감한 CCD 칩을 결합하여 전체 웨이퍼 (wafer) 에 대한 완전한 이미징 시야를 허용합니다. 고속 카메라는 정확하고 상세한 검사 및 도량형을 위해 전체 웨이퍼에서 높은 프레임 속도를 제공합니다. 또한 KLA/TENCOR PHX DF 5.0에는 고급 조명 및 조명 시스템이 있어 선명하고 대비 된 이미지가 가능합니다. 이 정밀도는 고급 임계 치수 (CD) 측정 및 결함 특성에 이상적입니다. 이 기계는 또한 효율적인 작동을 위해 최첨단 자동 도구를 갖추고 있습니다. 이 자산에는 정교한 패턴 인식 및 이미지 처리 알고리즘이 포함되어 있어, 고해상도 자동 웨이퍼 (automated wafer) 검사가 가능합니다. 자동화된 모델은 빠른 이미징과 함께, 탁월한 결함 감지 기능을 제공합니다. 이 장비는 종래의 검사 방법으로 감지하기 어려운 극히 작은 결함을 감지 (detect) 할 수 있습니다. 또한 통합 프로세스 제어 시스템 (process control system) 을 통해 필요에 따라 프로세스 최적화 및 신속한 수정 작업을 수행할 수 있습니다. KLA PHX DF 5.0에는 결함의 정확하고 상세한 분류가 가능한 고급 특성 알고리즘이 있습니다. 이 단위는 유연한 매개변수 설정 (flexible parameter settings) 을 허용하여 가장 복잡한 웨이퍼를 철저히 특성화하고 분석할 수 있습니다. 또한 통합 도량형 기능을 통해 정확한 3D 지형을 측정 할 수 있습니다. 또한, 기계에는 현장 분석 모듈이 있으므로 웨이퍼 결함의 실시간 특성화가 가능합니다. 전반적으로 TENCOR PHX DF 5.0은 강력하고 강력한 웨이퍼 테스트 및 도량형 툴로, 정확하고 충실도 높은 결과를 제공합니다. 고급 이미징, 자동화, 도량형 (metrology) 기능을 갖춘 자산은 신속하고, 안정적이며, 고해상도 웨이퍼 (wafer) 검사를 통해 프로세스 제어와 최적화를 극대화할 수 있습니다.