판매용 중고 KLA / TENCOR P20 #9399018
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KLA/TENCOR P20은 KLA에서 개발 한 혁신적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 고급 반도체 제조에서 높은 처리량을 위해 고도로 자동화된 감지 (sensing), 이미징 (imaging) 및 제어 (control) 기술의 여러 가지 발전을 자랑합니다. KLA P-20은 기존 생산 라인에서 프런트엔드 및 백엔드 웨이퍼 테스트를 모두 위해 설계되었습니다. 디바이스 성능 매개 변수 (대용량 동적 범위, 고속, 뛰어난 정확도) 를 정확하게 측정합니다. 각 웨이퍼 프론트엔드 (Each Wafer Frontend) 테스트에 대해 시스템은 결함을 특성화하면서 하위 파장 다중점 측정과 이미징을 수행합니다. 이것은 고속 빔 스티어링, 광학 간섭법 (optical interferometry) 및 빔 에너지 제어의 조합으로 수행됩니다. 이 장치는 최신 머신 러닝 (Machine Learning) 및 인공 지능 알고리즘을 사용하여 데이터를 분석 및 분류하여 정확한 결함 분류 맵 (Defect Classification Map) 을 만들고 추세 분석 및 처리량 최적화 모델을 생성합니다. 또한 까다로운 프로세스 윈도우에서도 안정적이고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있으며, 최상의 결과를 얻을 수 있습니다. TENCOR P 20은 탁월한 정확도를 제공하는 것 외에도 10 ~ 1000 GHz 회전 속도로 매우 빠른 측정 속도를 제공하며, 단 몇 분만에 최대 50 개의 웨이퍼를 정확하게 측정 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 낮은 소음 바닥과 높은 동적 범위 (dynamic range) 를 특징으로하여 탁월한 정확성과 반복 성을 제공합니다. 비용 효율성과 자동화된 운영을 통해 대용량 (high-volume) 애플리케이션과 소용량 (small-scale) 애플리케이션을 모두 광범위한 운영 라인 모델로 사용할 수 있습니다. 전반적으로, KLA P 20은 기존 생산 라인에서 고급 반도체 제조를위한 테스트 및 도량형을위한 이상적인 도구입니다. 광범위한 기능과 기술로 인해 매우 효율적이고 정밀한 머신 (machine) 으로, 탁월한 정확성과 반복성으로 가장 어려운 작업조차도 처리 할 수 있습니다.
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