판매용 중고 KLA / TENCOR P2 #9205754
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KLA/TENCOR P2는 웨이퍼 지형을 검사하고 분석하는 데 사용되는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 자동화된 최적화 (automated optimization) 와 장애 분석 (failure analysis) 을 결합하여 빠르고 명확한 결과를 제공합니다. 현재 사용 가능한 가장 발전된 웨이퍼 도량형 장치이며, 고유한 이미징 및 패턴 인식 (pattern recognition) 기술을 사용하여 정확한 3 차원 측정 데이터를 얻습니다. KLA P-2 이미징 머신은 자외선 마이크로채널 플레이트, 전자 빔 열, 전자 광학 기둥과 같은 고급 이미징 기술을 사용합니다. 결과 이미지는 참조 구조와 비교하여 분석되고, 자동화 된 결함 검출 (automated defect detection) 에 대한 상세한 웨이퍼 지형을 개발하기 위해 상관 관계가 있습니다. 또한 자동화된 웨이퍼 검사 (wafer inspection) 프로세스를 통해 웨이퍼를 빠르고 정확하게 검사할 수 있습니다. 에셋에는 웨퍼 (wafer) 표면에서 피드백을 정확하게 측정하기 위해 온도와 습도가 조정 가능한 기상 챔버 (meteorological chamber) 가 장착되어 있습니다. TENCOR P 2 도량형 모델에는 데이터 분석, SPC (Statistical Process Control) 및 데이터 시각화를 위한 고급 소프트웨어 도구 세트가 있습니다. SPC 소프트웨어는 웨이퍼 표면 지형 (wafer surface topography) 의 변형 및 테스트 결과의 불규칙성과 같은 경향을 감지 할 수 있습니다. 데이터 시각화 소프트웨어 (Data Visualization Software) 는 테스트 중에 수집된 데이터를 간략하게 소개하며, 이를 통해 분석가들은 쉽게 직관적이고 유익한 다이어그램을 만들 수 있습니다. KLA P2 장비는 또한 고속, 저에너지 초음파 신호 발생기를 특징으로하며, 이는 고해상도로 데이터를 분석하는 데 사용됩니다. 이를 통해 웨이퍼 서피스에서 결함을 정확하게 분석 및 측정 할 수 있습니다. 이 "시스템 '은 또한" 웨이퍼' 표면 의 평평 함 과 "웨이퍼 '지형 의 결함 을 측정 할 수 있는" 레이저' 간섭계 를 갖추고 있다. P2 플랫폼의 전반적인 아키텍처는 자동화, 유연성 및 확장성을 위해 설계되었습니다. 다중 테스트, 다중 웨이퍼, 다중 프로세스 조건을 처리 할 수있는 강력한 도량형 장치입니다. 그리고, 이 기계는 완전히 커스터마이징이 가능하기 때문에, 특정 고객의 요구에 맞게 조정할 수 있습니다. 모든 KLA/TENCOR P-2 기능은 안정적이고 포괄적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구를 제공하여 모든 응용 프로그램에 대한 정확한 결과를 제공합니다. 혁신적인 디자인과 첨단 기술로, 웨이퍼 분석 (wafer analysis) 과 장애 분석 (failure analysis) 을 위한 귀중한 도구입니다.
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