판매용 중고 KLA / TENCOR P2 #293595754
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KLA/TENCOR P2는 반도체 웨이퍼 분석에 사용되는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 반도체 웨이퍼의 지형· 전기적 특성을 측정· 평가하기 위한 고도로 통합된 시스템이다. 클라이 P-2 (KLA P-2) 에는 웨이퍼의 지형적 기능을 캡처하는 고속 이미지 센서, 캡처 된 데이터를 분석하는 강력한 이미지 프로세서, 와퍼의 물리적 특성 (예: 저항성) 을 측정하는 다른 여러 센서가 포함되어 있습니다. TENCOR P 2에 포함 된 이미지 센서는 웨이퍼 표면의 넓은 영역을 캡처 할 수있는 고급 CCD (charge-coupled devices) 배열입니다. 대용량 (large) 형식을 사용하면 웨이퍼를 통해 더 많은 데이터 포인트를 수집할 수 있으며, 데이터 포인트 (data point) 를 보다 신속하게 수집할 수 있습니다. 이미지 프로세서 (Image Processor) 는 캡처된 이미지 데이터를 빠르고 정확하게 분석하고, 결함을 식별하며, 웨이퍼 서피스의 세부 지형 맵을 생성할 수 있습니다. 프로세서는 또한 도량형 기능을 제공하여 웨이퍼의 다양한 성능 매개변수 (예: 전압, 저항성, 두께) 를 계산합니다. P-2 는 이미지 센서, 프로세서 외에 다양한 전기적, 물리적 특성 (wafer) 을 측정하는 특수 센서 배열을 포함하고 있습니다. 여기에는 KLA VFET 센서, 고급 전기 성능 테스터, 주변 가드 스캐너, 접촉 저항 맵 스캐너 및 프로브 유닛, 저항성, 평등 및 표면 균일 성과 같은 특성을 측정하기위한 프로브 배열이 포함됩니다. KLA P 2에는 웨이퍼의 시각적 검사를위한 비전 머신도 포함되어 있습니다. P2 는 매우 자동화되어 있으며, 단일 세션에서 다양한 작업을 수행할 수 있습니다. 전압, 전류, 저항, 정전기 및 인덕턴스와 같은 전기 성능 특성을 측정 할 수 있습니다. 이 도구는 또한 웨이퍼의 프로파일, 두께, 서피스 품질, 평탄도, 서피스 균일성 (surface unifority) 을 측정하고 분석할 수 있습니다. KLA/TENCOR P-2 가 제공하는 다양한 기능과 기능을 통해 반도체 웨이퍼 (wafer) 의 분석 및 평가에 유용한 툴이 될 수 있습니다. 고도로 자동화 된 특성으로 인해 웨이퍼 (wafer) 의 전기 및 물리적 특성에 대한 빠른 측정 및 평가가 가능합니다. 그런 다음 P 2 가 수집한 데이터를 사용하여 전략적 결정을 내리고 프로세스 변경 (process changes) 을 생성하여 반도체 제조를 향상시킬 수 있습니다.
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