판매용 중고 KLA / TENCOR P17 #293824839

KLA / TENCOR P17
ID: 293824839
Surface profiler.
KLA/TENCOR P17은 웨이퍼 구조의 자동 도량형을 위해 특별히 설계된 강력하고 자율적 인 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 주요 도량형 장치와 SPCS (Sample Packaging and Control Unit) 의 두 가지 핵심 구성 요소로 구성됩니다. KLA P-17은 300mm, 200mm 및 150mm 웨이퍼에 대한 자동화된 고정밀 도량형을 제공합니다. 주 도량형 장치 는 정밀 검사 단계 로서, "웨이퍼 '를 정확 하게 정렬 한 다음, 초 분광 영상 기법 을 사용 하여 촬영 할 수 있다. 스캐닝 단계 (Scanning Stage) 는 고속, 저잡음 선형 서보 모터 (Linear-Motor) 에 의해 위치하며, 특정 범위의 웨이퍼를 스캔하고 성능을 최적화하기 위해 속도를 조정하도록 구성할 수 있습니다. 이 스캐닝 머신은 고급 CCD/CMOS 센서와 진동 감쇠 스캐닝 단계를 활용하여 반복 가능한 정확도로 고해상도 분석을 보장합니다. TENCOR P 17에는 샘플 준비 및 제어를 위한 고급 SPCS (Sample Packaging & Control Tool) 도 포함되어 있습니다. SPCS에는 여러 웨이퍼의 빠른 로드 및 언로드, 샘플 매핑 및 정렬, 웨이퍼 메트릭 저장/검색이 가능한 여러 구성 요소가 결합되어 있습니다. SPCS 는 여러 개 의 "웨이퍼 '를 안전 하게 포장 한 다음, 밀봉 하여 도량형 장치 로 운반 할 수 있다. 또한, SPCS에는 온도 의존 웨이퍼 측정을 허용하는 특수 온도 조절이 포함되어 있습니다. KLA P17 자산은 이미지 획득, 분석 및 웨이퍼 결과 보고에 고급 소프트웨어를 사용합니다. 이 소프트웨어는 높은 정확도를 측정하며, 데이터 분석을 위한 다양한 툴과 뷰 (view) 를 제공합니다. 또한, KLA/TENCOR P-17을 사용하면 사용자 정의 분석 제품군 및 보고서 형식을 쉽게 정의할 수 있으며, 이를 통해 더 빠른 문제 해결과 보다 효율적인 웨이퍼 분석이 가능합니다. 품질, 정확한 결과를 보장하기 위해 P17 모델에는 여러 수준의 이중화 (예비) 및 신뢰할 수 있는 데이터 관리 장비가 포함됩니다. 이 시스템은 전체 장치 (UIT) 가동 시간이 최대화되고 시스템 장애 시 웨이퍼 (Wafer) 테스트 결과가 안전하게 저장되고 백업됩니다. 전반적으로 P 17 도구는 웨이퍼 처리를 위해 자동화되고 유연하며 정확한 도량형을 제공합니다. 고급 도량형 기술, 샘플 패키징 및 제어, 맞춤식 분석 도구, 강력한 데이터 관리 기능의 조합으로 TENCOR P-17은 모든 웨이퍼 처리 시설에 필수적인 도구입니다.
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