판매용 중고 KLA / TENCOR P17 #293664880

KLA / TENCOR P17
ID: 293664880
Surface profiler Constant stylus force controller Microhead 5 SR Measurement head Vertical range: 0-327 µm Stylus force: 0.5-50 mg Scan length: 200 mm Dual-view optics: Side and top view Top view objective lens: 1400 x 1040 µm With auto magnification Digital camera: 5 Megapixel Stylus radius: 2.0 µm, 60° Motorized level and rotation, 8" Hold-down vacuum sample PC With LCD Monitor, 23" Operating system: Windows.
KLA/TENCOR P17은 현대 장치 제조에 사용되는 반도체 웨이퍼의 결함, 장치 특성, 구성 및 기타 기능을 측정하기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 한 번의 스캔 (scan) 으로 다양한 재료 레이어를 분석할 수 있어 프로세스 변동 (process variation) 과 결함 (defect) 을 신속하게 감지할 수 있습니다. 이 시스템에는 웨이퍼 스캔 광학, 자동 현미경, 광범위한 광전자 및 전자기 센서가 포함되어 있습니다. 광학은 레이저 (laser), 렌즈 시스템 (lens system) 및 기타 광학 요소로 구성되며, 각 단일 스캔에서 여러 각도와 깊이에서 다양한 측정을 캡처합니다. 자동 현미경에는 동력, z축 스테이지 및 웨이퍼의 고해상도 이미지를 캡처하는 고해상도 카메라가 포함됩니다. KLA P-17 은 각 스캔 (scan) 에서 중요한 정보를 캡처하여 웨이퍼 (wafer) 의 세부 기능 및 패턴 구조를 파악할 수 있으며, 로컬 변형을 보여 주는 상세한 이미지, 중요한 두께 및 구성 변이의 고해상도 분석 옵션 등을 제공합니다. 면적 (area) 과 점수 (point) 를 모두 결합하여 웨이퍼에서 일어나는 일에 대한 개요를 제공합니다. TENCOR P 17의 고급 알고리즘 (advanced algorithm) 은 프로세스 초기에 문제를 감지하여 엔지니어에게 신속한 수정 조치를 취할 수있는 기회를 제공합니다. 이 장치는 산화물 빌드 업 (oxide build-up), 오염 (contamination) 또는 부식 (corrosion) 과 같은 다양한 유형의 결함 및 분해를 감지하고 측정 할 수 있으며, 와이어 무결성 표시기를 측정하는 데 사용될 수도 있습니다. 또한, TENCOR P-17 (TENCOR P-17) 은 웨이퍼의 모든 재료 계층에 걸쳐 데이터를 수집하여 포괄적인 분석을위한 결함 및 프로세스 변화에 대한 완전한 정보를 제공 할 수 있습니다. 이 시스템에는 다량의 검사 데이터를 효율적으로 저장하고 분석할 수 있는 통합 데이터베이스 (Integrated Database) 도 포함되어 있습니다. 정확성과 신뢰성을 보장하기 위해, KLA P 17은 내장 NIST 추적 가능 교정 표준의 도움으로 반복적으로 교정 될 수 있습니다. 이 툴은 완전 자동화된 자산으로, 광범위한 운영 프로세스에 통합되어 테스트 시간 (time) 과 비용 (cost) 을 줄이고, 정확하고 반복 가능한 결과를 제공합니다. 결론적으로, TENCOR P17은 실리콘 웨이퍼에서 다양한 유형의 결함 또는 분해를 감지 할 수있는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델입니다. 첨단 "센서 '와 광학" 시스템' 은 기술자 들 에게 신속한 시정 조치 와 효율성 향상 을 위한 종합 정보 를 제공 해 준다. 이 장비는 운영 프로세스에 통합되어 테스트 시간 (time) 과 비용 (cost) 을 줄이고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다.
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