판매용 중고 KLA / TENCOR P17 OF #293666751
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KLA/TENCOR P17 OF 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비는 반도체 산업에 사용되는 웨이퍼 기판 검사에 사용되는 고급 도량형 시스템입니다. 이 장치는 풀 필드 이미징 (full-field imaging), 자동 결함 검토 (automated defect review) 및 집중식 이온 빔 분석 (ion-beam analysis) 을 포함한 고급 평가 및 도량형 기술의 조합을 사용하여 와퍼 기판에 대한 상세하고 포괄적 인 보기를 제공합니다. KLA P17 OF 기계는 적외선 광 스캐닝 하위 시스템, 5 메가 픽셀 카메라 도구 및 고효율 저전력 이온 열을 포함한 여러 모듈로 구성됩니다. 적외선 광학 스캐닝 (optical scanning) 에셋을 사용하면 전체 웨이퍼에 대한 상세한 고해상도 이미지를 제공할 수 있습니다. 카메라 모델 (Camera Model) 은 자동화된 결함 검토를 통해 웨이퍼의 프로세스 관련 결함을 신속하고 재현 가능한 검토를 제공합니다. 이온 빔 (ion-beam) 열은 프로세스 관련 결함에 대한 추가 평가를 위해 웨이퍼에 대한 현지화 된 관심 영역에 대한 비교할 수없는 분석을 제공합니다. 이미징 및 도량형 구성 요소 외에도, TENCOR P17 OF 에는 구성 가능한 웨이퍼 준비 및 처리 프로세스를 제공하는 자동화된 웨이퍼 스테이징 장비도 포함되어 있습니다. 스태이징 시스템을 사용하면 이미징 (Imaging) 및 도량형 (Metrology) 구성 요소를 사용하여 웨이퍼 및 자동 정렬을 정확하고 반복적으로 포지셔닝할 수 있습니다. P17 OF (Fully Integrated Image Capture), 프로세싱 및 디스플레이 장치로 설계되었으며, 운영자에게 사용하기 쉬운 그래픽 인터페이스를 제공합니다. 직관적인 사용자 인터페이스는 운영자에게 도량형 (metrology) 작업의 모든 영역에 대한 포괄적인 뷰를 제공합니다. 기계는 이전 실행의 데이터를 저장할 수 있으며, 이를 통해 운영자는 신속하게 회수 (recall) 하고 분석 (run) 을 분석할 수 있습니다. KLA/TENCOR P17 OF (OF) 는 최신 반도체 프로세스 기술의 요구를 충족시키도록 설계되었으며 최첨단 성능 및 측정 기능을 제공합니다. 이 도구는 프로세스 개발 마스크, 프로세스 제어, 품질 보증 (quality assurance) 응용 프로그램에 이상적입니다. 이 자산은 탁월한 정확성과 신뢰성을 제공하며, 최첨단 기술 노드의 반도체 프로세스 엔지니어에게 안정성을 보장합니다 (영문).
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