판매용 중고 KLA / TENCOR P16+ #9398371

KLA/TENCOR P16 + 는 생산 및 연구 응용 프로그램 모두를 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 광범위한 매개변수 (parameter) 와 피쳐 (feature) 를 신속하게 정확하게 측정하여 정교한 프로세스 제어 및 개발을 가능하게 합니다. 이 시스템은 가아스 (GaAs) 에서 실리콘 (Silicon) 에 이르는 다양한 재료를 사용하여 작업할 수 있으며, 몇 분 안에 사용 가능한 통계 결과와 함께 패턴 및 오버레이 측정이 가능합니다. 이 장치에는 16 인치 시야가 있으며, 높이는 4äm 범위에서 최대 2µm 해상도입니다. 머신은 필름 두께, 구성 및 웨이퍼 프로파일에 포함된 기타 매개변수를 측정할 수도 있습니다. 핵심 스캔 및 처리 기능 외에도 KLA P 16 + 에는 높은 생산성을 위한 통합 패스트백 스캐너가 있습니다. 이 스캐너를 사용하면 고해상도 서피스 피쳐를 측정할 수 있으며, 웨이퍼 (Wafer) 검사 및 이전에 파괴적인 프로세스를 통해서만 수행 할 수 있는 측정값을 제공합니다. TENCOR P-16 + 는 확장 기능을 위해 다른 다양한 시스템 (예: 레이저 및 광학) 과 통합 될 수 있습니다. 리서치 (Research) 모드에서이 도구는 다양한 프로세스의 패턴화 및 수정에 대한 자산 내 (in-asset) 측정을 가능하게 하여 모델의 유연성을 크게 높이도록 설계되었습니다. 이 장비는 대용량 처리량을 위한 자동 조종 장치 (Autopilot for high volume throughput), 웨이퍼 매개변수를 자동으로 검사하는 자동 측정기 (Auto Meter) 와 같은 여러 가지 자동 기능으로 설계되었습니다. 전반적으로 P 16 + 는 인상적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 기판 검사 (Substrate Inspection) 에서 개발 (Development) 에 이르기까지 프로세스의 모든 단계를 최적화할 수 있는 다양한 통합 기능을 갖춘 정교한 고성능 유닛을 사용자에게 제공합니다. 이는 생산 환경과 연구 환경 모두에서 정밀 측정 (precision measurement) 및 프로세스 제어 (process control) 에 이상적인 선택입니다.