판매용 중고 KLA / TENCOR P16+ #9148051
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![KLA / TENCOR P16+ 사진 사용됨 KLA / TENCOR P16+ 판매용](https://cdn.caeonline.com/images/kla-tencor_p16_661314.jpg)
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ID: 9148051
Surface profiler
Lapping
Measurement method: long-scan contact linear scans
Vertical resolution: 0.2 Å @ 327 μm
Step height repeatability: 6 Å, 100nm step
Profile data points: 4,000,000
Scan length: 80 or 200 mm
Maximum Z range: 1 mm
Stage translation: 240 mm x 240 mm
Sample positioning: motorized <1 μm
Sample stage diameter: 200 mm
Stylus force: 0.05 mg- 50mg
Field of view: 1.0mm - 4.0mm
Scan speed: 2 μm/sec to 25 mm/sec
Relative humidity: 30~40% (non-condensing) recommended
Temperature: 16℃~25℃, rate of change ≤2° C/h
Vacuum: 500 mm Hg @ 27 liters/min
Electrical: 220V, 60Hz, 430VA.
KLA/TENCOR P16 + 는 반도체 산업 내에서 고성능 인라인 도량형 및 결함 검사를 제공하기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 직관적인 사용자 인터페이스와 결합된 고급 (advanced) 도구 기능을 제공하여 빠르고, 일관성 있고, 안정적인 테스트 결과를 제공합니다. KLA P 16 + 는 탐지 민감성, 신속한 데이터 처리량 측면에서 다이 레벨 멀티 채널 반도체 웨이퍼 검사를 제공하는 차세대 장치입니다. TENCOR P-16 + 기계는 업계 최고의 웨이퍼 결함 감지 정확성과 성능을 제공합니다. 이 도구에는 다양한 마스크 레이어와 결함 크기의 결함을 정확하게 감지 할 수있는 고급 쿼드 채널 (Advanced Quad Channel) 검출기 (Detector) 기술이 장착되어 있습니다. 나노 미터 측면 해상도 (nanometer lateral resolution) 를 특징으로하며 높은 정확도의 결함 감지 및 분류를 가능하게 하는 뛰어난 패턴 인식 알고리즘을 제공합니다. 이 에셋은 DPT, 코너, 범위, 서피스 마운트 컴포넌트 등 공간 어레이 유형에 대한 신속한 자동 인식 기능을 제공합니다. 결함 감지 외에도 TENCOR P16 + 모델은 인라인 도량형 기능도 제공합니다. 시디셈 (CD-SEM), 산란법 (scatterometry), 타원법 (ellipsometry) 과 같은 다양한 정교한 도량형 기술을 제공하여 웨이퍼 표면의 수직 및 측면 치수와 왜곡을 모두 측정합니다. 또한 TSV (through-silicon-via) CD-SEM 측정, 결함 추적 및 웨이퍼에 테스트 패턴 배치를 제공합니다. 이 장비에는 첨단 광학 프로파일러 모듈 (Optical Profiler Module) 이 장착되어 있어 빠르고 정확한 도량형 측정을 위한 고급 광산란 (Light Scattering) 및 이미지 처리 기술을 제공합니다. KLA P-16 + 시스템은 다양한 자동화 체계와 작동, 신뢰성 및 호환이 용이합니다. 운영자 친화적 인터페이스 (Operator-Friendly Interface) 는 특정 애플리케이션에 대한 테스트 계획과 설정을 사용자 정의하는 기능을 통해 쉽게 작동할 수 있습니다. 또한, 실시간 데이터 분석 및 보고 기능을 갖춘 정교한 데이터 관리 기능을 제공합니다. 사용자 친화적인 기능을 통해 운영 및 검사 프로세스를 간소화하여 생산성 (Productivity) 과 품질 보장 (Quality Assurance) 을 향상시킵니다. 마지막으로 TENCOR P 16 + 는 안정성, 내구성 및 비용 효율성을 고려하여 제작되었습니다. 최고 수준의 국제 표준 (International Standard) 을 충족하는 견고하고 안정적인 설계를 제공하여 모든 운영 환경에 적합합니다. 이 기계는 다운타임, 고가의 수리, 유지 보수 비용을 절감하여 생산성, 수익성을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 결론적으로, P16 + 는 강력한 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구로서, 고급 도구 기능과 안정적인 성능을 제공합니다. 반도체 (반도체) 업계의 다양한 애플리케이션에 적합한, 높은 정확도의 결함 감지 (defect detection) 및 인라인 도량형 (inline metrology) 기능을 제공합니다. 이 자산은 사용 편의성, 안정성, 비용 효율성을 고려하여 설계되어, 품질과 생산성이 향상되었습니다.
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