판매용 중고 KLA / TENCOR P16+ #293816815

KLA/TENCOR P16 + 은 고성능 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 높은 처리량과 정확도에서 최대 200mm 직경의 웨이퍼에 대한 광범위한 웨이퍼 특성을 검사하고 특성화합니다. 웨이퍼 결함, 오버레이, 패턴화, 오염, etch 등 다양한 프로세스 및 도량형 응용 분야에서 탁월한 정확도, 속도 및 정확도를 결합합니다. KLA P 16 + 는 혁신적인 새로운 광학 도량형 하드웨어/소프트웨어 기술을 통해 시스템에서 나노미터 스케일 (scale) 의 아래와 위의 크기, 높이, 깊이, 각도로 웨이퍼 기능을 효과적으로 검사하고 특성화할 수 있습니다. TENCOR P-16 + 는 고유 한 멀티 스케일 도량형 및 자동 정렬 기술을 사용하여 다양한 웨이퍼 크기에 걸쳐 최적의 도량형 정확성을 제공합니다. KLA P16 + 에는 고급, 사용자 친화적 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 가 포함되어 있어 운영자가 빠르고 정확하게 다양한 작업을 수행할 수 있습니다. KLA/TENCOR P 16 + 장치의 테스트 기능에는 낮은 kV 결함 검사, 다이 투 다이 오버레이 도량형, 저항 에지 치수 도량형, 라인 에지 거칠기, 다중 저항선 패턴, 임계 치수 및 초점 조정 반사도가 포함됩니다. 또한 고유하고 독점적 인 알고리즘을 사용하여 결과를 분석하여 광범위한 웨이퍼 (wafer) 특성을 정확하게 측정하고 특성화합니다. 또한 P16 + 는 LER (Line Edge Roughness) 도량형을 포함하여 프로세스 특성화 및 최적화에 대한 여러 가지 고급 기능을 제공합니다. 이 도량형은 리소그래피와 관련된 프로세스의 라인 에지 구조와 일치하지 않는 결함 감도로 결함을 감지할 수 있는 ADD (Automated Defect Detection) 에 대한 자세한 정보를 제공합니다. TENCOR P 16 + 시스템에는 다양한 응용 프로그램 및 구성을 수용하는 다양한 옵션이 있습니다. 여기에는 특수 웨이퍼 테스터 및 핸들러 로봇 공학, 사용자 정의 교정 옵션, 포커스 교정 플레이트 (focus calibration plate) 와 같은 액세서리, 사용자정의 사용자정의 테스트 시퀀스 실행 기능 등이 포함됩니다. 요약하면, KLA/TENCOR P-16 + 는 속도 및 정확도로 최대 200mm 직경의 웨이퍼를 검사하고 특성화하는 고급 고성능 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구입니다. 혁신적인 광학 도량형 (Optical Metrology) 하드웨어/소프트웨어 기술, 전용 알고리즘, 강력한 Yser 친화적 GUI (Graphical User Interface) 를 결합하여 광범위한 프로세스 및 도량형 애플리케이션에서 안정적으로 결과를 얻을 수 있습니다. TENCOR P16 + 는 wafer tester 및 handler robotics, 사용자 정의, 사용자 정의 테스트 시퀀스를 실행하여 기능을 더욱 향상시키는 기능을 제공합니다.