판매용 중고 KLA / TENCOR P16+ #293765625

KLA/TENCOR P16 + 는 높은 처리량 웨이퍼 테스트 및 도량형을 위해 설계된 장비입니다. 실리콘 웨이퍼에서 다른 특성을 정확하게 측정 할 수있는 4 가지 구성 요소가 있습니다. 시스템의 첫 번째 부분은 웨이퍼 패턴 (wafer pattern) 이나 결함 (defect) 의 위치를 식별하고 측정하는 데 사용되는 비전 단위 (vision unit) 로 구성됩니다. 이 기계는 적절한 정렬을 위해 정확한 레이저 (laser) 를 사용하며 웨이퍼 표면에서 패턴이나 결함을 감지할 수있는 고해상도 디지털 카메라 (digital camera) 를 장착합니다. 이 도구에는 정확한 초점을 최적화하고 고품질 이미지를 얻기 위한 광학 현미경도 포함되어 있습니다. 두 번째 부분은 도량형 스테이션 (Metrology Station) 으로, 시각 자산에서 수집 한 데이터를 사용하여 웨이퍼 특성을 정확하게 측정합니다. 이 스테이션은 고급 광학 소프트웨어 도구와 통합되어 라인, 플레어, 보이드 등의 웨이퍼 (wafer) 기능을 측정합니다. 또한 PS (Photometric Stereo) 라는 비 접촉 광학 기술을 특징으로하며, 개별 지형 및 표면 불완전성을 결정하기 위해 표면의 3 차원 표현을 구성하는 데 사용됩니다. 세 번째 부분은 최대 100 개의 개별 패턴 또는 결함을 빠르게 매핑하는 데 사용되는 고속 매핑 모델 (High-Speed Mapping Model) 입니다. 이 장비는 매우 효율적이어서 고해상도의 대형 웨이퍼 (wafer) 를 빠르게 검사할 수 있습니다. 통계적 도구 (statistical tools) 도 갖추고 있어 획득한 데이터를 분석하고 신뢰할 수 있는 결과를 제공합니다. 시스템의 네 번째이자 마지막 부분은 ADSI (Automated Defect And Scratch Inspection Unit) 입니다. 이 기계는 레이저 광학 (laser optics) 을 사용하여 프로세스에 영향을 줄 수있는 결함 또는 표면 긁힘에 대한 웨이퍼를 검사합니다. 이 도구에는 결함을 감지하고 분류하는 정교한 이미지 처리 알고리즘이 포함되어 있습니다. 전반적으로 KLA P 16 + 는 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 다재다능한 자산입니다. 구성 요소는 정확한 웨이퍼 (wafer) 기능과 결함 측정을 제공하여 빠르고 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 강력한 설계와 강력한 소프트웨어 툴을 통해 모든 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 프로세스에 신뢰할 수 있는 모델이 됩니다.