판매용 중고 KLA / TENCOR P15 #9315028

KLA/TENCOR P15는 매우 정확하고 안정적인 데이터를 제공하기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 제품 개발, 연구 개발, 장애 분석, 프로세스 제어, 프로세스 개발 애플리케이션에 이상적입니다. 이 제품은 반도체 웨이퍼의 테스트, 분석, 특성화를 처리하도록 특별히 설계된 완전 자동화된 다기능 장치입니다. KLA P-15 머신은 포괄적이고 정확한 정보를 신속하게 제공하기 위해 여러 기술을 통합합니다. 고급 이미지 분석 (Advanced Image analysis) 및 실시간 패턴 인식 (Real-Time Pattern Recognition) 알고리즘이 장착되어 있어 정밀도로 빠른 재료 분류, 결함 및 중요한 치수 측정을 용이하게 합니다. 또한 광 (optical), 전기 (electrical) 및 음향 도량형 (acoustic metrology) 기능을 결합하여 장치 기능, 웨이퍼 및 회로 재료 및 매개변수를 정확하게 특성화합니다. 이 툴은 생산 테스트 (Production Testing) 와 연구/개발 (Research and Development) 애플리케이션의 엄격한 요구 사항을 모두 충족할 수 있는 높은 정확도를 갖춘 안정적인 결함 감지 기능을 갖추고 있습니다. 현미경, 터널링 전자 현미경 (TEM), 스캔 음향 현미경 및 2 단계 분광법을 포함한 여러 분석 도구를 사용합니다. 또한, 에셋은 고해상도 이미징을 위한 동적 범위 (dynamic range) 를 가지고 있어 가장 작은 결함까지 감지 할 수 있습니다. 또한, TENCOR P 15는 또한 패턴 가장자리에 대한 신뢰할 수있는 검사뿐만 아니라 이중 패턴 구조의 정확한 성장 측정을 제공합니다. 이 모델에는 21 인치 터치 모니터가 장착된 하이엔드 PC, 더 빠른 웨이퍼 테스트 및 분석 시간을 지원하는 멀티 프로세서 CPU 등이 포함되어 있습니다. 또한 다양한 로봇 및 자동화 프로세스를 통합하여 실습 시간을 최소화하고, 수작업 오류를 줄이고, 데이터를 효율적으로 제공합니다. P 15에는 다양한 이미지 분석, 소프트웨어 및 데이터 처리 프로그램도 포함되어 있습니다. 양성톤 및 음성톤 필름 두께 측정, 광학 산란 분석, 합금 구성 분석, 계층 간 등록 확인, 마이크로 구조 분석 등 다양한 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 또한, 이 장비는 통계 프로세스 제어 (statistical process control), 근본 원인 분석 (root cause analysis), 항복 관리 (yield management), 결함 식별 (fault identification) 과 같은 다양한 기능을 제공합니다. 요약하자면, TENCOR P15 시스템은 다양한 자동화되고 안정적인 테스트 및 도량형 (metrology) 기능을 제공하기 때문에 높은 가치의 프로세스 제어, 검증, 장애 분석 애플리케이션을 위한 경제적인 솔루션을 제공합니다. 웨이퍼 특성화, 품질 보증, 수율 관리를 크게 향상시킬 수 있습니다.