판매용 중고 KLA / TENCOR P15 #9313370

KLA/TENCOR P15는 장치 제작 중 표면 및 전기 특성 데이터를 정확하게 제공하기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 WOE (Wafer Order Exam), FEA (Finite Element Analysis) 및 웨이퍼 스트레스 테스트를 포함한 다양한 업계 표준 테스트 프로토콜을 지원합니다. 이 장치는 고급 4 사분면 차등 감지 기술을 기반으로하며 이중 채널 간섭 측정 헤드 (interferometric measuration head) 를 사용하여 높은 정확도 표면 및 전기 데이터를 얻습니다. 이 기계는 임계 전압, 플랫 밴드 전압, 이동성 등 스팟 해상도 및 영역 측정 전기 매개변수를 모두 측정 할 수 있습니다. 이 도구의 주요 기능에는 뛰어난 측정 정확도, 반복 가능성, 견고성 및 높은 처리량이 포함됩니다. 에셋은 또한 실시간 웨이퍼 매핑을 수행하여 비균일 표면 (non-uniform surface) 또는 전기 특성을 가진 웨이퍼 (wafer) 의 특정 영역을 식별할 수 있습니다. 이 모델은 확장 가능한 오픈 플랫폼 (open platform) 으로 제작되었으며 6 축 모션 컨트롤을 갖춘 웨이퍼 정렬 장비 (wafer alignment equipment), 샘플 정렬 및 검사를위한 고급 광학 현미경, 데이터 분석 및 소프트웨어 제어를 위한 강력한 컴퓨터 등 다양한 특수 도구가 장착되어 있습니다. 또한, 수동 처리 단계를 제거하여 시스템 가동 시간, 성능, 정확성을 향상시키는 혁신적인 자동 교정 (automated calibration) 방법을 사용합니다. 이 장치는 광범위한 테스트 헤드 구성과 200mm, 300mm 및 450mm 웨이퍼를 포함한 다양한 웨이퍼 크기를 지원합니다. 안전, 성능, 정확성, 환경 및 추적 가능성과 관련된 적용 가능한 업계 표준을 준수하도록 설계되었습니다. KLA P-15 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 머신 (metrology machine) 은 반도체 장치 제조에 중요한 도구이며 정밀 장치 테스트를 위해 매우 정확한 표면 및 전기 측정이 필요한 고객에게 이상적입니다.