판매용 중고 KLA / TENCOR P15 #9293535

KLA/TENCOR P15는 반도체 프로세스의 요구를 충족시키기 위해 설계된 다용도, 비용 효율적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 최대 8 ', 12' 및 더 큰 웨이퍼에 대한 광범위한 웨이퍼 특성 및 측정 기능을 제공합니다. 이 시스템은 고급 레이저, 광학 및 기계적 컴포넌트를 사용하여 서피스 거칠기, 임계 치수, 프로파일, 선 모서리 거칠기 (line edge roughness) 및 기타 중요한 특성을 포함한 주요 웨이퍼 특성을 측정합니다. KLA P-15 (KLA P-15) 는 대형 스테이지 및 이미징 옵틱을 중심으로 설계되어 사용자가 웨이퍼 표면을 정확하게 스캔하고 캡처할 수 있도록 합니다. 광학 부품은 이미징 성능을 최대화하도록 최적 (optical) 으로 구성되고, 레이저는 정확한 측정 데이터를 제공하기 위해 활용됩니다. 이 장치에는 여러 개의 센서 헤드 (각각 고유한 시야가 있음) 가 있으며, 이를 통해 모든 공간 방향으로 피쳐를 측정할 수 있습니다. 두 개의 독립적 인 XY 단계는 가변 속도 스캔, 향상된 처리량 및 보다 정밀한 계측 데이터를 제공합니다. 이 기계는 low-kV, ultra-low kV, bright-field 및 dark-field를 포함한 다양한 측정 모드를 제공하여 다양한 웨이퍼 속성을 측정 할 수 있습니다. 또한 TENCOR P 15는 자동 정렬 및 결함 감지 기능을 제공합니다. 이 기능은 수동 샘플링 (manual sampling) 에 비해 테스트 작업을 가속화하고 단순화합니다. TENCOR P15는 사용 편의성과 데이터 수집을 위해 설계되었습니다. 개방형 아키텍처를 사용하면 다른 시스템과 쉽게 통합할 수 있으며, 여러 소스에서 데이터를 수집할 수 있습니다. 이 제품은 다양한 웨이퍼 크기와 재료에 맞게 쉽게 구성할 수 있으며, 프로세스 장애 분석, 모니터링, 개발에 사용할 수 있습니다. 또한, 간편한 교정, 유지 보수, 수리, 다양한 옵션 구성 요소 (옵션) 를 추가하여 공구를 사용자 정의할 수 있도록 설계되었습니다. 전반적으로 P 15 는 다양한 측정, 테스트, 도량형 기능을 제공하는 다용도 비용 효율적인 자산입니다. 공정 엔지니어링 (Process Engineering), 품질 관리 (Quality Control), 반도체 제조 문제 해결 (Trouble-Shooting) 을 위한 이상적인 솔루션으로 다양한 기능과 기능을 제공합니다.