판매용 중고 KLA / TENCOR P15 #9261862

KLA / TENCOR P15
ID: 9261862
웨이퍼 크기: 8"
Surface profiler, 8".
KLA/TENCOR P15는 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 고급 웨이퍼 검사, 결함 분류, 광학 인수, 비접촉 (non-contact) 지형에 사용되는 다중 도구 플랫폼입니다. KLA P-15는 높은 정확도와 높은 처리량으로 웨이퍼 테스트 및 도량형을 수행하도록 설계되었습니다. 고급 광 모드와 비접촉 모드를 모두 제공합니다. 광 모드에서 TENCOR P 15는 반사도, 광학 대비 및 재료 대비를 측정 할 수 있습니다. 또한, 임계 치수와 피쳐 높이를 측정하기 위해 나노 스케일 프로파일 데이터를 생성할 수 있습니다. 비접촉 모드에서는 레이저 스캔 기술을 사용하여 작은 결함을 감지할 수 있습니다. P 15는 고급 분석 기능으로 설계되었습니다. TENCOR P-15는 AI 기반 알고리즘을 사용하여 광범위한 결함을 자동으로 감지, 식별, 분류할 수 있습니다. 또한 고급 패턴 일치 (Advanced Pattern Matching) 알고리즘을 통해 웨이퍼 맵과 데이터를 보다 빠르고 정확하게 검토할 수 있습니다. 정확성 측면에서 KLA P15의 최대 해상도는 0.4 äm이며 정확도는 0.1 äm입니다. 동적 범위는 천만: 1까지 높을 수 있습니다. 또한, KLA/TENCOR P 15는 유연성이 뛰어나도록 설계되어 다양한 도량형 요구 사항에 따라 시스템을 쉽게 재구성할 수 있습니다. 또한, P-15는 샘플 로딩, 샘플 변경 및 웨이퍼 맵 검토에 쉽게 액세스 할 수 있도록 인체 공학적으로 설계되었습니다. 전반적으로 KLA P 15는 사용자에게 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템을 제공합니다. 정확성, 유연성, 인체 공학으로 인해, 반도체 제조의 다양한 응용 분야에 적합합니다.
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